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glorylin

金虫 (小有名气)

[求助] 买了个111晶向的硅片能用KOH刻蚀成吗?已有3人参与

买了个111晶向的硅片能用KOH刻蚀吗?刻蚀下去也是像如图所示沿着54.75刻下去,形成倒锥形的样子吗?谢谢
买了个111晶向的硅片能用KOH刻蚀成吗?
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

感谢参与,应助指数 +1
dgf2008: 屏蔽内容, 过期内容! 2017-07-25 23:33:29
本帖内容被屏蔽

2楼2015-03-06 17:49:37
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glorylin

金虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2015-03-06 17:49:37
片子买错了,应该买100晶向的。
可以找苏州锐材做这个加工,也可以找他们买这个片子。

谢谢,我想再问下,如果是这种<111>晶向硅片,用KOH刻刻出什么形状?
3楼2015-03-06 19:02:47
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cord

铁杆木虫 (著名写手)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
刻蚀一下不就知道了 ?
<111>也是可以刻蚀的,形貌有点不同。
4楼2015-03-07 00:24:06
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tangshi141

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
没记错的话 <100>是正方形 <111>是三角形
5楼2015-03-08 08:41:40
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