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asdfghjklt

新虫 (初入文坛)

[求助] 硅纳米线湿法刻蚀

实验过程如下:
1 硅片的清洗:浓硫酸+过氧化氢煮,乙醇超声
2 溅射金纳米颗粒(粒径20纳米左右,厚度未知,蠕虫状,有均匀的缝隙)
3 氢氟酸+过氧化氢腐蚀(分别为4.8M,0.4M),50度反应半小时
现象:腐蚀得到的硅片表面金黄色,开始以为是金属,丢到王水里没有变化。
SEM:俯视图表面乱七八糟,有微纳米级孔
      侧面图,直径微米级的柱子,长度30微米,是倾斜的,与水平面的夹角约有60°吧。(失望!)
望有经验的虫子分析一下这是为什么呢,我们的硅片不知是什么晶型的(可能不是100的,所以得到斜的吧),但微米级别的柱子应该不是这个原因吧。新虫金币不多,见谅啊!
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与,应助指数 +1
asdfghjklt: 金币+2, ★★★很有帮助 2013-07-08 09:21:57
不知道晶向就去腐蚀!!
你用的几寸片?如果是整片的话,可以通过定位边判断。N100的定位边是底下一个大边,上面一个平行的小边。
另外,HF+H2O2腐蚀硅?
2楼2013-07-05 11:21:42
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kuaileren

至尊木虫 (文坛精英)

楼主什么学校的呀?做这个实验据我所知都是国内非常好的学校
“你要坚信,人海陌生,质地温暖。只要你能够与人为邻、与人共舞,社会上就有许许多多的热心人等你结识、等你合作”。
3楼2013-07-05 12:21:36
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asdfghjklt

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2013-07-05 11:21:42
不知道晶向就去腐蚀!!
你用的几寸片?如果是整片的话,可以通过定位边判断。N100的定位边是底下一个大边,上面一个平行的小边。
另外,HF+H2O2腐蚀硅?

谢谢回复!
关于定位边,我刚百度了一下,应该是N或P型111的,底下有个边,左边那一块不是很规整,不知道算圆的还是算一条边。
我看文献上是用HF+H2O2腐蚀的啊,腐蚀液有很多种的吧,也可用HF+AgNO3之类的。
4楼2013-07-05 15:11:08
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asdfghjklt

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
3楼: Originally posted by kuaileren at 2013-07-05 12:21:36
楼主什么学校的呀?做这个实验据我所知都是国内非常好的学校

学校很好,我做的不好
5楼2013-07-05 15:17:12
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changge87

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与,应助指数 +1
asdfghjklt: 金币+2, ★★★很有帮助 2013-07-08 09:28:48
楼主可以试试别的简单的方法呀,比如HF+AgNO3就挺好,也不用溅射的步骤。
我不知道你的溅射是用的什么设备,溅射的过程不好,引入杂质都会影响刻蚀的。
即使选择了100的硅片,刻弯了或者倒伏状是常有的事,如果新手的话,估计至少半个月到一个月的练习才可以刻好,没有为什么,就是手熟的问题。
6楼2013-07-07 09:28:56
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asdfghjklt

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
6楼: Originally posted by changge87 at 2013-07-07 09:28:56
楼主可以试试别的简单的方法呀,比如HF+AgNO3就挺好,也不用溅射的步骤。
我不知道你的溅射是用的什么设备,溅射的过程不好,引入杂质都会影响刻蚀的。
即使选择了100的硅片,刻弯了或者倒伏状是常有的事,如果新 ...

我用过这个方法,就是用HF+AgNO3在硅片表面沉积一层银颗粒,然后还是用HF+H2O2腐蚀的,那次得到的是黑色的,但是也没有线,乱糟糟的一团。我再试试,可能是硅片没洗干净或者试剂不纯什么的。
7楼2013-07-08 09:28:42
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changge87

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
7楼: Originally posted by asdfghjklt at 2013-07-08 09:28:42
我用过这个方法,就是用HF+AgNO3在硅片表面沉积一层银颗粒,然后还是用HF+H2O2腐蚀的,那次得到的是黑色的,但是也没有线,乱糟糟的一团。我再试试,可能是硅片没洗干净或者试剂不纯什么的。...

恩,没有得到线,怎么会是黑的呢?一般得不到很好的阵列很难是黑的呢。
硅片表面的洁净是很重要的,你再试试吧。
8楼2013-07-09 08:54:20
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penglong66

木虫 (小有名气)

引用回帖:
6楼: Originally posted by changge87 at 2013-07-07 05:28:56
楼主可以试试别的简单的方法呀,比如HF+AgNO3就挺好,也不用溅射的步骤。
我不知道你的溅射是用的什么设备,溅射的过程不好,引入杂质都会影响刻蚀的。
即使选择了100的硅片,刻弯了或者倒伏状是常有的事,如果新 ...

你好,请问纯硅片,晶向是100,用什么溶液刻蚀比较合适?

发自小木虫Android客户端
加油,可以的,不要为外物所扰。。
9楼2016-10-23 23:55:42
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