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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 硅纳米线湿法刻蚀
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asdfghjklt

新虫 (初入文坛)

[求助] 硅纳米线湿法刻蚀

实验过程如下：
1 硅片的清洗：浓硫酸+过氧化氢煮，乙醇超声
2 溅射金纳米颗粒（粒径20纳米左右，厚度未知，蠕虫状，有均匀的缝隙）
3 氢氟酸+过氧化氢腐蚀（分别为4.8M，0.4M），50度反应半小时
现象：腐蚀得到的硅片表面金黄色，开始以为是金属，丢到王水里没有变化。
SEM：俯视图表面乱七八糟，有微纳米级孔
      侧面图，直径微米级的柱子，长度30微米，是倾斜的，与水平面的夹角约有60°吧。（失望！）
望有经验的虫子分析一下这是为什么呢，我们的硅片不知是什么晶型的（可能不是100的，所以得到斜的吧），但微米级别的柱子应该不是这个原因吧。新虫金币不多，见谅啊!
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1楼 2013-07-04 20:32:06
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
asdfghjklt: 金币+2, ★★★很有帮助 2013-07-08 09:21:57
不知道晶向就去腐蚀！！
你用的几寸片？如果是整片的话，可以通过定位边判断。N100的定位边是底下一个大边，上面一个平行的小边。
另外，HF+H2O2腐蚀硅？
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2楼2013-07-05 11:21:42
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kuaileren

至尊木虫 (文坛精英)
楼主什么学校的呀？做这个实验据我所知都是国内非常好的学校
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“你要坚信，人海陌生，质地温暖。只要你能够与人为邻、与人共舞，社会上就有许许多多的热心人等你结识、等你合作”。
3楼2013-07-05 12:21:36
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asdfghjklt

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2013-07-05 11:21:42
不知道晶向就去腐蚀！！
你用的几寸片？如果是整片的话，可以通过定位边判断。N100的定位边是底下一个大边，上面一个平行的小边。
另外，HF+H2O2腐蚀硅？

谢谢回复！
关于定位边，我刚百度了一下，应该是N或P型111的，底下有个边，左边那一块不是很规整，不知道算圆的还是算一条边。
我看文献上是用HF+H2O2腐蚀的啊，腐蚀液有很多种的吧，也可用HF+AgNO3之类的。
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4楼2013-07-05 15:11:08
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asdfghjklt

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by kuaileren at 2013-07-05 12:21:36
楼主什么学校的呀？做这个实验据我所知都是国内非常好的学校

学校很好，我做的不好
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5楼2013-07-05 15:17:12
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changge87

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
asdfghjklt: 金币+2, ★★★很有帮助 2013-07-08 09:28:48
楼主可以试试别的简单的方法呀，比如HF+AgNO3就挺好，也不用溅射的步骤。
我不知道你的溅射是用的什么设备，溅射的过程不好，引入杂质都会影响刻蚀的。
即使选择了100的硅片，刻弯了或者倒伏状是常有的事，如果新手的话，估计至少半个月到一个月的练习才可以刻好，没有为什么，就是手熟的问题。
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6楼2013-07-07 09:28:56
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asdfghjklt

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
6楼: Originally posted by changge87 at 2013-07-07 09:28:56
楼主可以试试别的简单的方法呀，比如HF+AgNO3就挺好，也不用溅射的步骤。
我不知道你的溅射是用的什么设备，溅射的过程不好，引入杂质都会影响刻蚀的。
即使选择了100的硅片，刻弯了或者倒伏状是常有的事，如果新 ...

我用过这个方法，就是用HF+AgNO3在硅片表面沉积一层银颗粒，然后还是用HF+H2O2腐蚀的，那次得到的是黑色的，但是也没有线，乱糟糟的一团。我再试试，可能是硅片没洗干净或者试剂不纯什么的。
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7楼2013-07-08 09:28:42
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changge87

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
7楼: Originally posted by asdfghjklt at 2013-07-08 09:28:42
我用过这个方法，就是用HF+AgNO3在硅片表面沉积一层银颗粒，然后还是用HF+H2O2腐蚀的，那次得到的是黑色的，但是也没有线，乱糟糟的一团。我再试试，可能是硅片没洗干净或者试剂不纯什么的。...

恩，没有得到线，怎么会是黑的呢？一般得不到很好的阵列很难是黑的呢。
硅片表面的洁净是很重要的，你再试试吧。
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8楼2013-07-09 08:54:20
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penglong66

木虫 (小有名气)
引用回帖:
6楼: Originally posted by changge87 at 2013-07-07 05:28:56
楼主可以试试别的简单的方法呀，比如HF+AgNO3就挺好，也不用溅射的步骤。
我不知道你的溅射是用的什么设备，溅射的过程不好，引入杂质都会影响刻蚀的。
即使选择了100的硅片，刻弯了或者倒伏状是常有的事，如果新 ...

你好，请问纯硅片，晶向是100，用什么溶液刻蚀比较合适？

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加油，可以的，不要为外物所扰。。
9楼2016-10-23 23:55:42
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