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asdfghjklt新虫 (初入文坛)
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硅纳米线湿法刻蚀
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实验过程如下: 1 硅片的清洗:浓硫酸+过氧化氢煮,乙醇超声 2 溅射金纳米颗粒(粒径20纳米左右,厚度未知,蠕虫状,有均匀的缝隙) 3 氢氟酸+过氧化氢腐蚀(分别为4.8M,0.4M),50度反应半小时 现象:腐蚀得到的硅片表面金黄色,开始以为是金属,丢到王水里没有变化。 SEM:俯视图表面乱七八糟,有微纳米级孔 侧面图,直径微米级的柱子,长度30微米,是倾斜的,与水平面的夹角约有60°吧。(失望!) 望有经验的虫子分析一下这是为什么呢,我们的硅片不知是什么晶型的(可能不是100的,所以得到斜的吧),但微米级别的柱子应该不是这个原因吧。新虫金币不多,见谅啊! |
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