24小时热门版块排行榜    

查看: 2991  |  回复: 8

asdfghjklt

新虫 (初入文坛)

[求助] 硅纳米线湿法刻蚀

实验过程如下:
1 硅片的清洗:浓硫酸+过氧化氢煮,乙醇超声
2 溅射金纳米颗粒(粒径20纳米左右,厚度未知,蠕虫状,有均匀的缝隙)
3 氢氟酸+过氧化氢腐蚀(分别为4.8M,0.4M),50度反应半小时
现象:腐蚀得到的硅片表面金黄色,开始以为是金属,丢到王水里没有变化。
SEM:俯视图表面乱七八糟,有微纳米级孔
      侧面图,直径微米级的柱子,长度30微米,是倾斜的,与水平面的夹角约有60°吧。(失望!)
望有经验的虫子分析一下这是为什么呢,我们的硅片不知是什么晶型的(可能不是100的,所以得到斜的吧),但微米级别的柱子应该不是这个原因吧。新虫金币不多,见谅啊!
回复此楼
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与,应助指数 +1
asdfghjklt: 金币+2, ★★★很有帮助 2013-07-08 09:21:57
不知道晶向就去腐蚀!!
你用的几寸片?如果是整片的话,可以通过定位边判断。N100的定位边是底下一个大边,上面一个平行的小边。
另外,HF+H2O2腐蚀硅?
2楼2013-07-05 11:21:42
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

kuaileren

至尊木虫 (文坛精英)

楼主什么学校的呀?做这个实验据我所知都是国内非常好的学校
“你要坚信,人海陌生,质地温暖。只要你能够与人为邻、与人共舞,社会上就有许许多多的热心人等你结识、等你合作”。
3楼2013-07-05 12:21:36
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

asdfghjklt

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2013-07-05 11:21:42
不知道晶向就去腐蚀!!
你用的几寸片?如果是整片的话,可以通过定位边判断。N100的定位边是底下一个大边,上面一个平行的小边。
另外,HF+H2O2腐蚀硅?

谢谢回复!
关于定位边,我刚百度了一下,应该是N或P型111的,底下有个边,左边那一块不是很规整,不知道算圆的还是算一条边。
我看文献上是用HF+H2O2腐蚀的啊,腐蚀液有很多种的吧,也可用HF+AgNO3之类的。
4楼2013-07-05 15:11:08
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

asdfghjklt

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
3楼: Originally posted by kuaileren at 2013-07-05 12:21:36
楼主什么学校的呀?做这个实验据我所知都是国内非常好的学校

学校很好,我做的不好
5楼2013-07-05 15:17:12
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

changge87

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与,应助指数 +1
asdfghjklt: 金币+2, ★★★很有帮助 2013-07-08 09:28:48
楼主可以试试别的简单的方法呀,比如HF+AgNO3就挺好,也不用溅射的步骤。
我不知道你的溅射是用的什么设备,溅射的过程不好,引入杂质都会影响刻蚀的。
即使选择了100的硅片,刻弯了或者倒伏状是常有的事,如果新手的话,估计至少半个月到一个月的练习才可以刻好,没有为什么,就是手熟的问题。
6楼2013-07-07 09:28:56
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

asdfghjklt

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
6楼: Originally posted by changge87 at 2013-07-07 09:28:56
楼主可以试试别的简单的方法呀,比如HF+AgNO3就挺好,也不用溅射的步骤。
我不知道你的溅射是用的什么设备,溅射的过程不好,引入杂质都会影响刻蚀的。
即使选择了100的硅片,刻弯了或者倒伏状是常有的事,如果新 ...

我用过这个方法,就是用HF+AgNO3在硅片表面沉积一层银颗粒,然后还是用HF+H2O2腐蚀的,那次得到的是黑色的,但是也没有线,乱糟糟的一团。我再试试,可能是硅片没洗干净或者试剂不纯什么的。
7楼2013-07-08 09:28:42
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

changge87

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
7楼: Originally posted by asdfghjklt at 2013-07-08 09:28:42
我用过这个方法,就是用HF+AgNO3在硅片表面沉积一层银颗粒,然后还是用HF+H2O2腐蚀的,那次得到的是黑色的,但是也没有线,乱糟糟的一团。我再试试,可能是硅片没洗干净或者试剂不纯什么的。...

恩,没有得到线,怎么会是黑的呢?一般得不到很好的阵列很难是黑的呢。
硅片表面的洁净是很重要的,你再试试吧。
8楼2013-07-09 08:54:20
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

penglong66

木虫 (小有名气)

引用回帖:
6楼: Originally posted by changge87 at 2013-07-07 05:28:56
楼主可以试试别的简单的方法呀,比如HF+AgNO3就挺好,也不用溅射的步骤。
我不知道你的溅射是用的什么设备,溅射的过程不好,引入杂质都会影响刻蚀的。
即使选择了100的硅片,刻弯了或者倒伏状是常有的事,如果新 ...

你好,请问纯硅片,晶向是100,用什么溶液刻蚀比较合适?

发自小木虫Android客户端
加油,可以的,不要为外物所扰。。
9楼2016-10-23 23:55:42
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 asdfghjklt 的主题更新
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] 咱们一起用铁证分析2026国家社科基金中标与否 +7 启萌科技 2026-08-12 27/1350 2026-08-18 21:44 by Noways
[教师之家] 为什么余额宝的年化利率越来越低?主要原因有哪些? +3 瞬息宇宙 2026-08-15 3/150 2026-08-18 21:40 by xiaohuixin
[基金申请] 2027广东省杰青 +3 奶牛小黑 2026-08-15 9/450 2026-08-18 20:09 by 奶牛小黑
[基金申请] 朋友圈看到的 +4 wangzilk 2026-08-18 5/250 2026-08-18 19:25 by wangzilk
[基金申请] 欢迎发来filecode的Mz6后的代码验证其规律 +51 医学老男孩 2026-08-13 110/5500 2026-08-18 19:07 by icerianxia
[基金申请] 明天放榜? +5 Shxjjxjkx 2026-08-18 5/250 2026-08-18 18:14 by -大大大大大-
[基金申请] 重要消息,中午系统在维护 +9 yuleib84 2026-08-18 10/500 2026-08-18 16:52 by archvillain
[论文投稿] 投稿咨询 +4 wwm09 2026-08-17 6/300 2026-08-18 15:36 by wwm09
[基金申请] 时间戳又变了8-15 +14 archvillain 2026-08-15 26/1300 2026-08-18 13:37 by phantomgost
[基金申请] 今天维护系统维护 祝所有人 高中 +8 gjjjzhong 2026-08-18 9/450 2026-08-18 13:01 by 家与远方
[基金申请] 哪位老哥知道今年的国自然具体哪一天放榜? +13 Ldrop2023 2026-08-13 16/800 2026-08-18 12:25 by 淀粉搬运工
[基金申请] 快农历七夕节了,轻松一下,男人悄悄话,女施主请不要进来。 +4 Tide man 2026-08-14 5/250 2026-08-18 11:35 by Tide man
[基金申请] 93BebMhtakh前后11位开头都是大写 +4 且听虎啸 2026-08-17 5/250 2026-08-18 00:49 by 蔡棒棒菂
[基金申请] filecode=后面第一个是大写字母 +8 wangze12014 2026-08-14 10/500 2026-08-17 17:05 by xter9665
[基金申请] 今天系统多次维护,明天很可能放榜! +8 zju2000 2026-08-16 9/450 2026-08-17 12:20 by lmz0216
[精细化工] 招聘 金属平磨液,抛光液研发工程师 +3 小天0311 2026-08-14 3/150 2026-08-16 07:31 by H9PLUS
[基金申请] 重要来源:本周末出结果 +10 瞬息宇宙 2026-08-12 10/500 2026-08-13 15:46 by likettle
[基金申请] 不应该看fileCode +7 且听虎啸 2026-08-12 9/450 2026-08-13 14:27 by flydreamws
[基金申请] Filecode 又变了,巨变 +3 WH3796 2026-08-12 4/200 2026-08-13 14:13 by 小木虫6752397
[基金申请] 结合人工智能,周易传统文化,filecode打分制来了,3分以上希望很大。 +3 Tide man 2026-08-12 4/200 2026-08-13 08:35 by ZJTJZ
信息提示
请填处理意见