24小时热门版块排行榜    

查看: 1990  |  回复: 6

wangshuozxcv

铁杆木虫 (正式写手)


[交流] 【求助】反应离子刻蚀的问题

小弟想在利用二氧化硅做掩模板,利用反应离子刻蚀在硅表面刻蚀硅纳米线
但是 刻出来的效果很差 感觉好像没有刻动一下 大家帮我分析一下原因。


谢谢了
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

» 抢金币啦!回帖就可以得到:

查看全部散金贴

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wangshuozxcv

铁杆木虫 (正式写手)


怎么没人帮我解答呀
2楼2010-12-16 09:51:24
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wangshuozxcv

铁杆木虫 (正式写手)


自己的帖子 再支持一下
3楼2010-12-24 09:50:20
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

kpliu1

新虫 (初入文坛)


因为选择比不够高,建议改刻蚀气体。
4楼2011-03-30 00:24:14
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

rock19850817

铜虫 (小有名气)


换掩膜材料 最好是金属  比如 Cr
5楼2011-04-05 21:43:22
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

quanbaogang

木虫 (正式写手)


wangshuozxcv(金币+10): 多谢 麻烦可以PM一个联系方式吗?QQ之类的 我有一些纳米线阵列问题要问 2011-04-11 09:19:32
一般来讲利用反应离子刻蚀技术二氧化硅对硅的选择比也就是20以内,如果想得到纳米线有点难。
高的选择比需要优化工艺,不要用三氯甲烷,应该用六氟化硫和氧气的混合气体。鉴于反应离子刻蚀是纳米级刻蚀技术,高长径比的纳米线应该使用ICP的冷冻刻蚀技术。建议楼主多看看与ICP相关文献。
6楼2011-04-09 00:29:27
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yupeng2012

金虫 (正式写手)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
您好,我想问一下您用反应离子的方法刻蚀出来Si纳米线了吗?
7楼2014-05-25 16:04:40
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 wangshuozxcv 的主题更新
普通表情 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 一志愿985,本科211,0817化学工程与技术319求调剂 +5 Liwangman 2026-03-15 5/250 2026-03-16 17:10 by 我的船我的海
[考研] 304求调剂 +4 ahbd 2026-03-14 4/200 2026-03-16 16:48 by 我的船我的海
[考研] 中科院材料273求调剂 +4 yzydy 2026-03-15 4/200 2026-03-16 15:59 by Gaodh_82
[考研] 308求调剂 +3 是Lupa啊 2026-03-16 3/150 2026-03-16 10:07 by 求调剂zz
[考研] 290求调剂 +5 孔志浩 2026-03-12 10/500 2026-03-16 09:01 by 余晖&
[考研] 327求调剂 +6 拾光任染 2026-03-15 11/550 2026-03-15 22:47 by 拾光任染
[考研] 080500,材料学硕302分求调剂学校 +4 初识可乐 2026-03-14 5/250 2026-03-14 21:08 by peike
[考研] 本科南京大学一志愿川大药学327 +3 麦田耕者 2026-03-14 3/150 2026-03-14 20:04 by 外星文明
[考研] 255求调剂 +3 李嘉慧, 2026-03-12 4/200 2026-03-14 16:58 by 有只狸奴
[考研] 328求调剂 +3 5201314Lsy! 2026-03-13 6/300 2026-03-14 15:31 by hyswxzs
[考研] 一志愿华中农业大学071010,总分三百二,求调剂 +3 困困困困坤坤 2026-03-10 3/150 2026-03-14 00:35 by JourneyLucky
[考研] 招收0805(材料)调剂 +3 18595523086 2026-03-13 3/150 2026-03-14 00:33 by 123%、
[考研] 一志愿西南交大,材料专硕317求调剂 +5 lx8568 2026-03-11 5/250 2026-03-13 21:43 by peike
[考研] 0703化学一志愿211 总分320求调剂 +5 玛卡巴卡啊哈 2026-03-11 5/250 2026-03-13 21:40 by JourneyLucky
[硕博家园] 085600 260分求调剂 +3 天空还下雨么 2026-03-13 5/250 2026-03-13 18:46 by 天空还下雨么
[考研] 求调剂 +5 一定有学上- 2026-03-12 5/250 2026-03-13 18:31 by ms629
[考研] 材料专硕350 求调剂 +4 王金科 2026-03-12 4/200 2026-03-13 16:02 by ruiyingmiao
[考研] 土木第一志愿276求调剂,科研和技能十分丰富,求新兴方向的导师收留 +3 土木小天才 2026-03-12 3/150 2026-03-13 15:01 by JourneyLucky
[考研] 求调剂 资源与环境 285 +3 未名考生 2026-03-10 3/150 2026-03-13 10:31 by houyaoxu
[硕博家园] 木虫好像不热闹了,是不是? +4 偏振片 2026-03-10 4/200 2026-03-10 09:51 by longwave
信息提示
请填处理意见