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【求助】反应离子刻蚀的问题
南方科技大学公共卫生及应急管理学院2026级博士研究生招生报考通知(长期有效)
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wangshuozxcv
铁杆木虫
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[交流]
【求助】反应离子刻蚀的问题
小弟想在利用二氧化硅做掩模板,利用反应离子刻蚀在硅表面刻蚀硅纳米线
但是 刻出来的效果很差 感觉好像没有刻动一下 大家帮我分析一下原因。
谢谢了
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2010-12-15 14:15:38
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wangshuozxcv
铁杆木虫
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3楼
2010-12-24 09:50:20
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wangshuozxcv
铁杆木虫
(正式写手)
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怎么没人帮我解答呀
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2楼
2010-12-16 09:51:24
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kpliu1
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因为选择比不够高,建议改刻蚀气体。
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4楼
2011-03-30 00:24:14
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rock19850817
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换掩膜材料 最好是金属 比如 Cr
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5楼
2011-04-05 21:43:22
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