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【求助】反应离子刻蚀的问题
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小弟想在利用二氧化硅做掩模板，利用反应离子刻蚀在硅表面刻蚀硅纳米线 但是 刻出来的效果很差 感觉好像没有刻动一下 大家帮我分析一下原因。  谢谢了 |
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5楼2011-04-05 21:43:22