24小时热门版块排行榜    

北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
查看: 2461  |  回复: 8
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

asdfghjklt

新虫 (初入文坛)

[求助] 硅纳米线湿法刻蚀

实验过程如下:
1 硅片的清洗:浓硫酸+过氧化氢煮,乙醇超声
2 溅射金纳米颗粒(粒径20纳米左右,厚度未知,蠕虫状,有均匀的缝隙)
3 氢氟酸+过氧化氢腐蚀(分别为4.8M,0.4M),50度反应半小时
现象:腐蚀得到的硅片表面金黄色,开始以为是金属,丢到王水里没有变化。
SEM:俯视图表面乱七八糟,有微纳米级孔
      侧面图,直径微米级的柱子,长度30微米,是倾斜的,与水平面的夹角约有60°吧。(失望!)
望有经验的虫子分析一下这是为什么呢,我们的硅片不知是什么晶型的(可能不是100的,所以得到斜的吧),但微米级别的柱子应该不是这个原因吧。新虫金币不多,见谅啊!
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

资源

» 猜你喜欢

» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

changge87

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与,应助指数 +1
asdfghjklt: 金币+2, ★★★很有帮助 2013-07-08 09:28:48
楼主可以试试别的简单的方法呀,比如HF+AgNO3就挺好,也不用溅射的步骤。
我不知道你的溅射是用的什么设备,溅射的过程不好,引入杂质都会影响刻蚀的。
即使选择了100的硅片,刻弯了或者倒伏状是常有的事,如果新手的话,估计至少半个月到一个月的练习才可以刻好,没有为什么,就是手熟的问题。
6楼2013-07-07 09:28:56
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 9 个回答

yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与,应助指数 +1
asdfghjklt: 金币+2, ★★★很有帮助 2013-07-08 09:21:57
不知道晶向就去腐蚀!!
你用的几寸片?如果是整片的话,可以通过定位边判断。N100的定位边是底下一个大边,上面一个平行的小边。
另外,HF+H2O2腐蚀硅?
2楼2013-07-05 11:21:42
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

kuaileren

至尊木虫 (文坛精英)

楼主什么学校的呀?做这个实验据我所知都是国内非常好的学校
“你要坚信,人海陌生,质地温暖。只要你能够与人为邻、与人共舞,社会上就有许许多多的热心人等你结识、等你合作”。
3楼2013-07-05 12:21:36
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

asdfghjklt

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2013-07-05 11:21:42
不知道晶向就去腐蚀!!
你用的几寸片?如果是整片的话,可以通过定位边判断。N100的定位边是底下一个大边,上面一个平行的小边。
另外,HF+H2O2腐蚀硅?

谢谢回复!
关于定位边,我刚百度了一下,应该是N或P型111的,底下有个边,左边那一块不是很规整,不知道算圆的还是算一条边。
我看文献上是用HF+H2O2腐蚀的啊,腐蚀液有很多种的吧,也可用HF+AgNO3之类的。
4楼2013-07-05 15:11:08
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 375求调剂 +3 雨夏整夜 2026-03-29 3/150 2026-03-29 10:37 by 唐沐儿
[考研] 0856材料化工调剂 总分330 +14 zhubinhao 2026-03-27 14/700 2026-03-29 10:01 by Sjndkwm
[考研] 343求调剂 +5 爱羁绊 2026-03-28 5/250 2026-03-28 20:53 by 唐沐儿
[考研] 求调剂 +6 芦lty 2026-03-25 7/350 2026-03-28 13:13 by 唐沐儿
[考研] 283求调剂 +7 A child 2026-03-28 7/350 2026-03-28 12:05 by zllcz
[考研] 339求调剂,想调回江苏 +6 烤麦芽 2026-03-27 8/400 2026-03-28 10:40 by 烤麦芽
[考研] 265求调剂 +8 小木虫085600 2026-03-27 8/400 2026-03-27 22:16 by 无际的草原
[考研] 266求调剂 +11 阳阳哇塞 2026-03-27 12/600 2026-03-27 17:56 by yu221
[考研] 复试调剂,一志愿南农083200食品科学与工程 +5 XQTJZ 2026-03-26 5/250 2026-03-27 14:49 by 狂炫麦当当
[考研] 一志愿华东理工大学081700,初试分数271 +6 kotoko_ik 2026-03-23 7/350 2026-03-27 12:29 by 惠州彭于晏
[考研] 一志愿郑大085600,310分求调剂 +5 李潇可 2026-03-26 5/250 2026-03-27 11:14 by 不吃魚的貓
[考研] 0703化学一志愿南京师范大学303求调剂 +3 zzffylgg 2026-03-24 3/150 2026-03-27 10:42 by shangxh
[考研] 333求调剂 +6 wfh030413@ 2026-03-23 6/300 2026-03-26 22:45 by 学员8dgXkO
[考研] 321求调剂 +6 Ymlll 2026-03-24 6/300 2026-03-26 20:50 by 不吃魚的貓
[考研] 【双一流院校新能源、环境材料,材料加工与模拟招收大量调剂】 +4 Higraduate 2026-03-22 8/400 2026-03-26 20:34 by Higraduate
[考研] 总分322求生物学/生化与分子/生物信息学相关调剂 +5 星沉uu 2026-03-26 6/300 2026-03-26 19:02 by macy2011
[考研] 318求调剂 +3 plum李子 2026-03-23 3/150 2026-03-25 09:42 by 雾散后相遇lc
[考研] 上海电力大学材料防护与新材料重点实验室招收调剂研究生(材料、化学、电化学,环境) +4 我爱学电池 2026-03-23 4/200 2026-03-25 00:59 by 1027_324
[考研] 材料专硕找调剂 +5 哈哈哈吼吼吼哈 2026-03-23 5/250 2026-03-24 19:07 by 了了了了。。
[考研] 328求调剂 +4 LHHL66 2026-03-23 4/200 2026-03-23 14:55 by lbsjt
信息提示
请填处理意见