24小时热门版块排行榜    

查看: 2437  |  回复: 8

asdfghjklt

新虫 (初入文坛)

[求助] 硅纳米线湿法刻蚀

实验过程如下:
1 硅片的清洗:浓硫酸+过氧化氢煮,乙醇超声
2 溅射金纳米颗粒(粒径20纳米左右,厚度未知,蠕虫状,有均匀的缝隙)
3 氢氟酸+过氧化氢腐蚀(分别为4.8M,0.4M),50度反应半小时
现象:腐蚀得到的硅片表面金黄色,开始以为是金属,丢到王水里没有变化。
SEM:俯视图表面乱七八糟,有微纳米级孔
      侧面图,直径微米级的柱子,长度30微米,是倾斜的,与水平面的夹角约有60°吧。(失望!)
望有经验的虫子分析一下这是为什么呢,我们的硅片不知是什么晶型的(可能不是100的,所以得到斜的吧),但微米级别的柱子应该不是这个原因吧。新虫金币不多,见谅啊!
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

资源

» 猜你喜欢

» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与,应助指数 +1
asdfghjklt: 金币+2, ★★★很有帮助 2013-07-08 09:21:57
不知道晶向就去腐蚀!!
你用的几寸片?如果是整片的话,可以通过定位边判断。N100的定位边是底下一个大边,上面一个平行的小边。
另外,HF+H2O2腐蚀硅?
2楼2013-07-05 11:21:42
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

kuaileren

至尊木虫 (文坛精英)

楼主什么学校的呀?做这个实验据我所知都是国内非常好的学校
“你要坚信,人海陌生,质地温暖。只要你能够与人为邻、与人共舞,社会上就有许许多多的热心人等你结识、等你合作”。
3楼2013-07-05 12:21:36
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

asdfghjklt

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2013-07-05 11:21:42
不知道晶向就去腐蚀!!
你用的几寸片?如果是整片的话,可以通过定位边判断。N100的定位边是底下一个大边,上面一个平行的小边。
另外,HF+H2O2腐蚀硅?

谢谢回复!
关于定位边,我刚百度了一下,应该是N或P型111的,底下有个边,左边那一块不是很规整,不知道算圆的还是算一条边。
我看文献上是用HF+H2O2腐蚀的啊,腐蚀液有很多种的吧,也可用HF+AgNO3之类的。
4楼2013-07-05 15:11:08
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

asdfghjklt

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
3楼: Originally posted by kuaileren at 2013-07-05 12:21:36
楼主什么学校的呀?做这个实验据我所知都是国内非常好的学校

学校很好,我做的不好
5楼2013-07-05 15:17:12
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

changge87

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与,应助指数 +1
asdfghjklt: 金币+2, ★★★很有帮助 2013-07-08 09:28:48
楼主可以试试别的简单的方法呀,比如HF+AgNO3就挺好,也不用溅射的步骤。
我不知道你的溅射是用的什么设备,溅射的过程不好,引入杂质都会影响刻蚀的。
即使选择了100的硅片,刻弯了或者倒伏状是常有的事,如果新手的话,估计至少半个月到一个月的练习才可以刻好,没有为什么,就是手熟的问题。
6楼2013-07-07 09:28:56
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

asdfghjklt

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
6楼: Originally posted by changge87 at 2013-07-07 09:28:56
楼主可以试试别的简单的方法呀,比如HF+AgNO3就挺好,也不用溅射的步骤。
我不知道你的溅射是用的什么设备,溅射的过程不好,引入杂质都会影响刻蚀的。
即使选择了100的硅片,刻弯了或者倒伏状是常有的事,如果新 ...

我用过这个方法,就是用HF+AgNO3在硅片表面沉积一层银颗粒,然后还是用HF+H2O2腐蚀的,那次得到的是黑色的,但是也没有线,乱糟糟的一团。我再试试,可能是硅片没洗干净或者试剂不纯什么的。
7楼2013-07-08 09:28:42
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

changge87

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
7楼: Originally posted by asdfghjklt at 2013-07-08 09:28:42
我用过这个方法,就是用HF+AgNO3在硅片表面沉积一层银颗粒,然后还是用HF+H2O2腐蚀的,那次得到的是黑色的,但是也没有线,乱糟糟的一团。我再试试,可能是硅片没洗干净或者试剂不纯什么的。...

恩,没有得到线,怎么会是黑的呢?一般得不到很好的阵列很难是黑的呢。
硅片表面的洁净是很重要的,你再试试吧。
8楼2013-07-09 08:54:20
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

penglong66

木虫 (小有名气)

引用回帖:
6楼: Originally posted by changge87 at 2013-07-07 05:28:56
楼主可以试试别的简单的方法呀,比如HF+AgNO3就挺好,也不用溅射的步骤。
我不知道你的溅射是用的什么设备,溅射的过程不好,引入杂质都会影响刻蚀的。
即使选择了100的硅片,刻弯了或者倒伏状是常有的事,如果新 ...

你好,请问纯硅片,晶向是100,用什么溶液刻蚀比较合适?

发自小木虫Android客户端
加油,可以的,不要为外物所扰。。
9楼2016-10-23 23:55:42
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 asdfghjklt 的主题更新
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 一志愿天津大学化学工艺专业(081702)315分求调剂 +12 yangfz 2026-03-17 12/600 2026-03-21 03:30 by JourneyLucky
[考研] 求调剂 +3 Ma_xt 2026-03-17 3/150 2026-03-21 02:05 by JourneyLucky
[考研] 307求调剂 +10 冷笙123 2026-03-17 10/500 2026-03-21 01:54 by JourneyLucky
[考研] 297求调剂 +9 戏精丹丹丹 2026-03-17 9/450 2026-03-21 01:49 by JourneyLucky
[考研] 311求调剂 +5 冬十三 2026-03-18 5/250 2026-03-21 00:16 by JourneyLucky
[考研] 308求调剂 +3 阿姐阿姐家啊 2026-03-18 3/150 2026-03-20 23:24 by JourneyLucky
[考研] 324求调剂 +5 lucky呀呀呀鸭 2026-03-20 5/250 2026-03-20 22:30 by 促天成
[考研] 085600材料与化工 +8 安全上岸! 2026-03-16 8/400 2026-03-20 22:13 by luoyongfeng
[考研] 一志愿华中农业071010,总分320求调剂 +3 困困困困坤坤 2026-03-20 3/150 2026-03-20 20:38 by 学员8dgXkO
[考研] 一志愿 南京航空航天大学大学 ,080500材料科学与工程学硕 +5 @taotao 2026-03-20 5/250 2026-03-20 20:16 by JourneyLucky
[考研] 261求B区调剂,科研经历丰富 +3 牛奶很忙 2026-03-20 4/200 2026-03-20 19:34 by JourneyLucky
[考研] 广西大学家禽遗传育种课题组2026年硕士招生(接收计算机专业调剂) +3 123阿标 2026-03-17 3/150 2026-03-20 15:58 by 飞行琦
[考研] 081700化工学硕调剂 +3 【1】 2026-03-16 3/150 2026-03-19 23:40 by edmund7
[考研] 288求调剂,一志愿华南理工大学071005 +5 ioodiiij 2026-03-17 5/250 2026-03-19 18:22 by zcl123
[考研] 085601专硕,总分342求调剂,地区不限 +5 share_joy 2026-03-16 5/250 2026-03-18 14:48 by haxia
[考研] 268求调剂 +8 一定有学上- 2026-03-14 9/450 2026-03-17 17:47 by laoshidan
[考研] 考研调剂 +3 淇ya_~ 2026-03-17 5/250 2026-03-17 09:25 by Winj1e
[考研] 中科院材料273求调剂 +4 yzydy 2026-03-15 4/200 2026-03-16 15:59 by Gaodh_82
[考研] 中科大材料与化工319求调剂 +3 孟鑫材料 2026-03-14 3/150 2026-03-14 20:10 by ms629
[考研] 本科南京大学一志愿川大药学327 +3 麦田耕者 2026-03-14 3/150 2026-03-14 20:04 by 外星文明
信息提示
请填处理意见