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asdfghjklt新虫 (初入文坛)
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[求助]
硅纳米线湿法刻蚀
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实验过程如下： 1 硅片的清洗：浓硫酸+过氧化氢煮，乙醇超声 2 溅射金纳米颗粒（粒径20纳米左右，厚度未知，蠕虫状，有均匀的缝隙） 3 氢氟酸+过氧化氢腐蚀（分别为4.8M，0.4M），50度反应半小时 现象：腐蚀得到的硅片表面金黄色，开始以为是金属，丢到王水里没有变化。 SEM：俯视图表面乱七八糟，有微纳米级孔 侧面图，直径微米级的柱子，长度30微米，是倾斜的，与水平面的夹角约有60°吧。（失望！） 望有经验的虫子分析一下这是为什么呢，我们的硅片不知是什么晶型的（可能不是100的，所以得到斜的吧），但微米级别的柱子应该不是这个原因吧。新虫金币不多，见谅啊! |
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penglong66
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