24小时热门版块排行榜    

查看: 3008  |  回复: 8
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

asdfghjklt

新虫 (初入文坛)

[求助] 硅纳米线湿法刻蚀

实验过程如下:
1 硅片的清洗:浓硫酸+过氧化氢煮,乙醇超声
2 溅射金纳米颗粒(粒径20纳米左右,厚度未知,蠕虫状,有均匀的缝隙)
3 氢氟酸+过氧化氢腐蚀(分别为4.8M,0.4M),50度反应半小时
现象:腐蚀得到的硅片表面金黄色,开始以为是金属,丢到王水里没有变化。
SEM:俯视图表面乱七八糟,有微纳米级孔
      侧面图,直径微米级的柱子,长度30微米,是倾斜的,与水平面的夹角约有60°吧。(失望!)
望有经验的虫子分析一下这是为什么呢,我们的硅片不知是什么晶型的(可能不是100的,所以得到斜的吧),但微米级别的柱子应该不是这个原因吧。新虫金币不多,见谅啊!
回复此楼
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

penglong66

木虫 (小有名气)

引用回帖:
6楼: Originally posted by changge87 at 2013-07-07 05:28:56
楼主可以试试别的简单的方法呀,比如HF+AgNO3就挺好,也不用溅射的步骤。
我不知道你的溅射是用的什么设备,溅射的过程不好,引入杂质都会影响刻蚀的。
即使选择了100的硅片,刻弯了或者倒伏状是常有的事,如果新 ...

你好,请问纯硅片,晶向是100,用什么溶液刻蚀比较合适?

发自小木虫Android客户端
加油,可以的,不要为外物所扰。。
9楼2016-10-23 23:55:42
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 9 个回答

yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与,应助指数 +1
asdfghjklt: 金币+2, ★★★很有帮助 2013-07-08 09:21:57
不知道晶向就去腐蚀!!
你用的几寸片?如果是整片的话,可以通过定位边判断。N100的定位边是底下一个大边,上面一个平行的小边。
另外,HF+H2O2腐蚀硅?
2楼2013-07-05 11:21:42
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

kuaileren

至尊木虫 (文坛精英)

楼主什么学校的呀?做这个实验据我所知都是国内非常好的学校
“你要坚信,人海陌生,质地温暖。只要你能够与人为邻、与人共舞,社会上就有许许多多的热心人等你结识、等你合作”。
3楼2013-07-05 12:21:36
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

asdfghjklt

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2013-07-05 11:21:42
不知道晶向就去腐蚀!!
你用的几寸片?如果是整片的话,可以通过定位边判断。N100的定位边是底下一个大边,上面一个平行的小边。
另外,HF+H2O2腐蚀硅?

谢谢回复!
关于定位边,我刚百度了一下,应该是N或P型111的,底下有个边,左边那一块不是很规整,不知道算圆的还是算一条边。
我看文献上是用HF+H2O2腐蚀的啊,腐蚀液有很多种的吧,也可用HF+AgNO3之类的。
4楼2013-07-05 15:11:08
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] 基金啊基金 +3 longfie172 2026-08-20 3/150 2026-08-21 00:04 by wuchongjun
[基金申请] 科研孤儿太难了 +14 我4大白菜 2026-08-20 15/750 2026-08-20 22:33 by 袁向阳007
[基金申请] 让我中一个面上吧! +8 大萍1987 2026-08-20 10/500 2026-08-20 21:48 by 大萍1987
[基金申请] 时间戳又变了 +12 wuchongjun 2026-08-20 17/850 2026-08-20 20:05 by spzhao
[基金申请] 今天系统多次维护,明天很可能放榜! +10 zju2000 2026-08-16 11/550 2026-08-20 20:02 by cl479861084
[基金申请] 只有每年这种时候来逛逛小木虫 +21 yaoyewhu2008 2026-08-20 22/1100 2026-08-20 17:03 by yaoyewhu2008
[基金申请] 放榜前的不淡定 40+3 snowwithsea 2026-08-19 12/600 2026-08-20 15:56 by lfy8008
[基金申请] 今天基金会出结果吗?20260819 +14 kkkl_v 2026-08-19 15/750 2026-08-20 08:21 by sunzitan
[教师之家] 为什么余额宝的年化利率越来越低?主要原因有哪些? +5 瞬息宇宙 2026-08-15 5/250 2026-08-19 20:23 by super2002521
[基金申请] 今天放榜没戏了吧 +4 yuleib84 2026-08-19 5/250 2026-08-19 19:52 by hhs666
[基金申请] 今天放榜吗? +14 布布和一二 2026-08-19 15/750 2026-08-19 18:07 by gltch
[基金申请] filecode=后面第一个是大写字母 +10 wangze12014 2026-08-14 12/600 2026-08-19 16:56 by 苦难博士
[基金申请] 2027广东省杰青 +4 奶牛小黑 2026-08-15 10/500 2026-08-19 11:02 by wanfengnew
[基金申请] 朋友圈看到的 +6 wangzilk 2026-08-18 8/400 2026-08-19 10:55 by Haru815
[基金申请] 什么时候开奖? +6 CrisMessi 2026-08-18 6/300 2026-08-19 08:06 by Equinoxhua
[基金申请] 时间戳又变了8-15 +14 archvillain 2026-08-15 26/1300 2026-08-18 13:37 by phantomgost
[基金申请] 今天维护系统维护 祝所有人 高中 +8 gjjjzhong 2026-08-18 9/450 2026-08-18 13:01 by 家与远方
[基金申请] 感觉是下周放榜了 +6 angus9576 2026-08-17 11/550 2026-08-17 23:57 by angus9576
[精细化工] 招聘 金属平磨液,抛光液研发工程师 +3 小天0311 2026-08-14 3/150 2026-08-16 07:31 by H9PLUS
[基金申请] 各位道友,我要去昆明玩几天,回来见。 +7 Tide man 2026-08-14 8/400 2026-08-15 01:11 by arzu_hma
信息提示
请填处理意见