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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 买了个111晶向的硅片能用KOH刻蚀成吗？
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glorylin

金虫 (小有名气)

[求助] 买了个111晶向的硅片能用KOH刻蚀成吗？ 已有3人参与

买了个111晶向的硅片能用KOH刻蚀吗？刻蚀下去也是像如图所示沿着54.75刻下去，形成倒锥形的样子吗？谢谢
买了个111晶向的硅片能用KOH刻蚀成吗？
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1楼 2015-03-06 12:56:00
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
感谢参与，应助指数 +1
dgf2008: 屏蔽内容, 过期内容！ 2017-07-25 23:33:29
本帖内容被屏蔽
2楼2015-03-06 17:49:37
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glorylin

金虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2015-03-06 17:49:37
片子买错了，应该买100晶向的。
可以找苏州锐材做这个加工，也可以找他们买这个片子。

谢谢，我想再问下，如果是这种<111>晶向硅片，用KOH刻刻出什么形状？
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3楼2015-03-06 19:02:47
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cord

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
刻蚀一下不就知道了 ？
<111>也是可以刻蚀的，形貌有点不同。
赞一下 回复此楼
4楼2015-03-07 00:24:06
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tangshi141

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
没记错的话 <100>是正方形 <111>是三角形
赞一下 回复此楼
5楼2015-03-08 08:41:40
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