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vincentwz

铁杆木虫 (著名写手)

[交流] 求推荐 磁控溅射 和 离子刻蚀 设备厂商....。。。。。

目前计划采购一台两靶位的磁控溅射,用于2-3inch wafer 的 Ti,Nb薄膜的溅镀,要求超高真空,要到10^-9Torr
还需要一台常规的氩离子刻蚀机(ion milling)

请问大家有什么推荐的厂商吗?主要考虑国外的吧,最好能提供一个大概的价格,谢谢啦。
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wbcui

至尊木虫 (知名作家)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
5楼: Originally posted by vincentwz at 2015-01-23 12:48:19
是啊,刻蚀用。
已经有一台icp-rie了,所以计划添一台ion milling(IBE)
...

这是和光刻配套做微加工么?
你说的那个ICP-RIE我没听过,不知道是什么
6楼2015-01-23 14:59:21
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查看全部 9 个回答

阿Q~~

至尊木虫 (文坛精英)

★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
vincentwz: 金币+1 2015-01-20 09:15:40
路过的看了一下,帮顶~~~~~~~~~~~~~~~~~~
自强不息,厚德载物;独立精神,自由思想。
2楼2015-01-19 10:16:45
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shunsun

铁虫 (小有名气)

★ ★ ★ ★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
vincentwz: 金币+5, 谢谢 2015-01-20 09:15:26
国外的,爱恩邦德,巴尔查斯,苏尔寿,赛利,神户,豪泽,爱发科等等,
糟心的工作!!!!!!!!!!!!
3楼2015-01-19 14:41:04
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wbcui

至尊木虫 (知名作家)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
楼主要买这个做什么用途呢?
微加工刻蚀么?
4楼2015-01-23 11:10:18
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