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vincentwz铁杆木虫 (著名写手)
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[交流]
求推荐 磁控溅射 和 离子刻蚀 设备厂商....。。。。。
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目前计划采购一台两靶位的磁控溅射，用于2-3inch wafer 的 Ti，Nb薄膜的溅镀，要求超高真空，要到10^-9Torr 还需要一台常规的氩离子刻蚀机（ion milling） 请问大家有什么推荐的厂商吗？主要考虑国外的吧，最好能提供一个大概的价格，谢谢啦。 |
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