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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 重大装备 » 求推荐 磁控溅射 和 离子刻蚀 设备厂商....。。。。。
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vincentwz

铁杆木虫 (著名写手)

[交流] 求推荐 磁控溅射 和 离子刻蚀 设备厂商....。。。。。

目前计划采购一台两靶位的磁控溅射，用于2-3inch wafer 的 Ti，Nb薄膜的溅镀，要求超高真空，要到10^-9Torr
还需要一台常规的氩离子刻蚀机（ion milling）

请问大家有什么推荐的厂商吗？主要考虑国外的吧，最好能提供一个大概的价格，谢谢啦。
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1楼 2015-01-19 09:41:38
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阿Q~~

至尊木虫 (文坛精英)
★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
vincentwz: 金币+1 2015-01-20 09:15:40
路过的看了一下，帮顶~~~~~~~~~~~~~~~~~~
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自强不息，厚德载物；独立精神，自由思想。
2楼2015-01-19 10:16:45
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shunsun

铁虫 (小有名气)
★ ★ ★ ★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
vincentwz: 金币+5, 谢谢 2015-01-20 09:15:26
国外的，爱恩邦德，巴尔查斯，苏尔寿，赛利，神户，豪泽，爱发科等等，
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糟心的工作！！！！！！！！！！！！
3楼2015-01-19 14:41:04
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wbcui

至尊木虫 (知名作家)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
楼主要买这个做什么用途呢？
微加工刻蚀么？
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4楼2015-01-23 11:10:18
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vincentwz

铁杆木虫 (著名写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by wbcui at 2015-01-23 11:10:18
楼主要买这个做什么用途呢？
微加工刻蚀么？

是啊，刻蚀用。
已经有一台icp-rie了，所以计划添一台ion milling(IBE)

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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5楼2015-01-23 11:48:19
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wbcui

至尊木虫 (知名作家)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
5楼: Originally posted by vincentwz at 2015-01-23 12:48:19
是啊，刻蚀用。
已经有一台icp-rie了，所以计划添一台ion milling(IBE)
...

这是和光刻配套做微加工么？
你说的那个ICP-RIE我没听过，不知道是什么
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6楼2015-01-23 14:59:21
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071228liu

新虫 (初入文坛)
★ ★ ★
vincentwz: 金币+3 2015-01-26 10:54:36
光驰科技
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7楼2015-01-25 15:20:30
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lisx2525

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
10-9Torr 属于UHV 级别的研发型磁控溅射设备，欧美的估计在35万-50万美金。 常规的10-7 Torr 或配低温泵到10-8Torr 的大约在23万 -- 30万美金根据配置不同。对于这个我比较熟悉，可相互交流
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8楼2015-02-26 11:33:04
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晓松11

新虫 (初入文坛)
昭和

发自小木虫Android客户端
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9楼2018-03-23 09:27:55
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