| 查看: 596 | 回复: 1 | ||
[求助]
磁控溅射 未曝光的光刻胶被影响
|
| 大家好！请问通过磁控溅射在光刻胶上沉积SiO2,50nm, 未曝光的光刻胶会被辉光等严重影响吗？怎样减少影响效果好些？或是有什么好的工艺可以替代这个工艺？ |
回复此楼» 猜你喜欢
请问对标matlab的开源软件octave的网站https://octave.org为什么打不开？
已经有1人回复
-
求助两种BiOBr晶体的CIF文件（卡片号为JCPDS 09-0393与JCPDS 01-1004 ）
已经有0人回复
-
无机化学论文润色/翻译怎么收费?
已经有206人回复
-
哈尔滨工程大学材化学院国家级青年人才-26年硕士招生
已经有0人回复
-
求助Fe-TCPP、Zn-TCPP的CIF文件，或者CCDC号
已经有0人回复
-
河北大学-26年秋季入学申请考核制-化学博士1名
已经有0人回复
-
XPS/?λXPS
已经有0人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 磁控溅射中如何用氩离子轰击基片
已经有11人回复
- 磁控溅射底座与腔体短路了 怎么解决
已经有9人回复
- 直流磁控溅射电源问题
已经有4人回复
- 磁控溅射的分子泵真空抽不上去
已经有23人回复
- 磁控溅射叉指电极制作方案中遇到的问题
已经有14人回复
- 请教一个关于磁控溅射的问题 在靶材上贴片
已经有16人回复
- 磁控溅射电源问题
已经有11人回复
- 直流磁控溅射AZO薄膜为什么方阻总是很大？
已经有10人回复
- 请教一个磁控溅射制备薄膜的问题，用相同功率的直流和射频溅射金属靶效果有什么不同？
已经有13人回复
- 磁控溅射镀不上去膜！！
已经有14人回复
- 磁控溅射时，氩气流速不同有什么影响？
已经有7人回复
- 磁控溅射高真空抽不下去
已经有12人回复
- [求助]磁控溅射制备SiN，用的是射频电源，有辉光，但溅射不上
已经有11人回复
- 实验室的磁控溅射和XRD在非工作状态下对人体有害吗？
已经有6人回复
- 磁控溅射做薄膜失败了吗
已经有21人回复
- 求助关于磁控溅射的问题
已经有29人回复
- 磁控溅射与反应磁控溅射
已经有18人回复
- 磁控溅射电源的电流调不上去是怎么回事？
已经有6人回复
2楼2014-11-22 21:23:49