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木星人士

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[求助] 磁控溅射未曝光的光刻胶被影响

大家好！请问通过磁控溅射在光刻胶上沉积SiO2,50nm, 未曝光的光刻胶会被辉光等严重影响吗？怎样减少影响效果好些？或是有什么好的工艺可以替代这个工艺？

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1楼 2014-11-22 11:58:18

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请问可以通过什么镀膜方法或工艺来保护光刻胶不被影响？

2楼2014-11-22 21:23:49

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