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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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静忆hh

铜虫 (初入文坛)

[求助] 如何将磁控溅射镀的膜与玻璃或者si基底分离呢,不求完整 已有4人参与

如何将磁控溅射镀的膜与玻璃或者si基底分离呢,不求完整
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westwolf

木虫 (著名写手)


【答案】应助回帖

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静忆hh: 金币+5, ★★★很有帮助 2014-11-13 14:13:41
先用化学湿法旋镀或者浸镀一层与基底材料作用很若的有机膜,如c32h66,再溅射镀金属膜,很容易将金属膜剥离基底表面。

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
7楼2014-11-12 21:18:50
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lee0803

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
静忆hh: 金币+5, ★★★很有帮助 2014-11-13 14:13:24
可以用腐蚀液腐蚀,用lift-off工艺也可以,这样一般在衬底上作出图形的。
你是想要单独把膜剥离出来?这个貌似很难实现的吧?
2楼2014-11-11 18:42:50
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静忆hh

铜虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by lee0803 at 2014-11-11 18:42:50
可以用腐蚀液腐蚀,用lift-off工艺也可以,这样一般在衬底上作出图形的。
你是想要单独把膜剥离出来?这个貌似很难实现的吧?

对啊,只要膜。试过用酸,膜会分离下来。放时间长了就全溶解了。
3楼2014-11-11 22:01:50
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cord

铁杆木虫 (著名写手)


【答案】应助回帖

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静忆hh: 金币+5, ★★★很有帮助 2014-11-13 14:13:33
前几年有一篇斯坦福大学的文章说用Ni膜就可以分离薄膜从硅片上,我回头找找。
具体你要分离的是什么膜?
4楼2014-11-12 00:26:42
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