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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 如何将磁控溅射镀的膜与玻璃或者si基底分离呢，不求完整
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静忆hh

铜虫 (初入文坛)

[求助] 如何将磁控溅射镀的膜与玻璃或者si基底分离呢，不求完整 已有4人参与

如何将磁控溅射镀的膜与玻璃或者si基底分离呢，不求完整
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@yswyx

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1楼 2014-11-10 14:44:30
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cord

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
静忆hh: 金币+5, ★★★很有帮助 2014-11-13 14:13:33
前几年有一篇斯坦福大学的文章说用Ni膜就可以分离薄膜从硅片上，我回头找找。
具体你要分离的是什么膜？
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4楼2014-11-12 00:26:42
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lee0803

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
静忆hh: 金币+5, ★★★很有帮助 2014-11-13 14:13:24
可以用腐蚀液腐蚀，用lift-off工艺也可以，这样一般在衬底上作出图形的。
你是想要单独把膜剥离出来？这个貌似很难实现的吧？
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2楼2014-11-11 18:42:50
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静忆hh

铜虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by lee0803 at 2014-11-11 18:42:50
可以用腐蚀液腐蚀，用lift-off工艺也可以，这样一般在衬底上作出图形的。
你是想要单独把膜剥离出来？这个貌似很难实现的吧？

对啊，只要膜。试过用酸，膜会分离下来。放时间长了就全溶解了。
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3楼2014-11-11 22:01:50
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静忆hh

铜虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by cord at 2014-11-12 00:26:42
前几年有一篇斯坦福大学的文章说用Ni膜就可以分离薄膜从硅片上，我回头找找。
具体你要分离的是什么膜？

先谢谢啦。  分离的事CaB6
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5楼2014-11-12 10:07:14
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