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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 如何将磁控溅射镀的膜与玻璃或者si基底分离呢，不求完整
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静忆hh

铜虫 (初入文坛)

[求助] 如何将磁控溅射镀的膜与玻璃或者si基底分离呢，不求完整 已有4人参与

如何将磁控溅射镀的膜与玻璃或者si基底分离呢，不求完整
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1楼 2014-11-10 14:44:30
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weak_value

金虫 (正式写手)
我一般电子束蒸镀，不烘烤的话一般会脱膜

[ 发自小木虫客户端 ]
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简简单单就好
9楼2014-11-13 11:12:10
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lee0803

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
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静忆hh: 金币+5, ★★★很有帮助 2014-11-13 14:13:24
可以用腐蚀液腐蚀，用lift-off工艺也可以，这样一般在衬底上作出图形的。
你是想要单独把膜剥离出来？这个貌似很难实现的吧？
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2楼2014-11-11 18:42:50
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静忆hh

铜虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by lee0803 at 2014-11-11 18:42:50
可以用腐蚀液腐蚀，用lift-off工艺也可以，这样一般在衬底上作出图形的。
你是想要单独把膜剥离出来？这个貌似很难实现的吧？

对啊，只要膜。试过用酸，膜会分离下来。放时间长了就全溶解了。
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3楼2014-11-11 22:01:50
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cord

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
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静忆hh: 金币+5, ★★★很有帮助 2014-11-13 14:13:33
前几年有一篇斯坦福大学的文章说用Ni膜就可以分离薄膜从硅片上，我回头找找。
具体你要分离的是什么膜？
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4楼2014-11-12 00:26:42
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静忆hh

铜虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by cord at 2014-11-12 00:26:42
前几年有一篇斯坦福大学的文章说用Ni膜就可以分离薄膜从硅片上，我回头找找。
具体你要分离的是什么膜？

先谢谢啦。  分离的事CaB6
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5楼2014-11-12 10:07:14
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FLYFWY

木虫 (小有名气)
搭车同问，我也有相同的脱膜问题。用酸会把我的金属膜直接腐蚀掉，用碱也会发生电化学腐蚀。
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6楼2014-11-12 11:00:29
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westwolf

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
静忆hh: 金币+5, ★★★很有帮助 2014-11-13 14:13:41
先用化学湿法旋镀或者浸镀一层与基底材料作用很若的有机膜，如c32h66，再溅射镀金属膜，很容易将金属膜剥离基底表面。

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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7楼2014-11-12 21:18:50
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静忆hh

铜虫 (初入文坛)
引用回帖:
7楼: Originally posted by westwolf at 2014-11-12 21:18:50
先用化学湿法旋镀或者浸镀一层与基底材料作用很若的有机膜，如c32h66，再溅射镀金属膜，很容易将金属膜剥离基底表面。

也想过类似的方法，可是我想要对比的是不同基底对镀的CaB6生长的影响
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8楼2014-11-13 10:42:13
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dwysd

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
静忆hh: 金币+5, ★★★很有帮助 2014-11-13 14:12:41
可以用单晶食盐晶体作为基底材料，镀膜后溶解即可。单晶食盐基底可以买到的。
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10楼2014-11-13 11:44:05
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