24小时热门版块排行榜

>论坛更新日志 (3017)
>虫友互识 (233)
>文献求助 (159)
>导师招生 (63)
>休闲灌水 (47)
>考博 (43)
>招聘信息布告栏 (38)
>博后之家 (32)
>硕博家园 (22)
>晶体 (18)
>论文投稿 (18)
>论文道贺祈福 (16)
>公派出国 (13)
>考研 (12)
>教师之家 (11)
>有机资源 (10)

返回列表

aaapple5

金虫 (初入文坛)

应助: 4 (幼儿园)
金币: 388.3
帖子: 31
在线: 22.3小时
虫号: 1504748
注册: 2011-11-22
性别: GG
专业: 金属功能材料

[求助] 磁控溅射不同基底对薄膜的影响

我镀的的是金和银，用了两种基底：石英和玻片，导师说玻片和石英片表面
悬挂键不同，可能镀出来薄膜之间有差异，特别是很薄的薄膜，差异会更大
求教一下会有哪些差异？厚度，成分，平整度，表面形貌？
为什么会产生这些差异？
谢谢啦！

回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:

求教磁控溅射能在在PPS材料表面镀铜吗？已经有7人回复
加热对磁控溅射辉光影响已经有6人回复
求教磁控溅射镀铝膜发黑的问题已经有16人回复
磁控溅射镀金属膜，SEM可以看到晶粒大小吗，还是用AFM？已经有24人回复
磁控溅射镀制非晶膜的基底材料，除了Si基底，还可以用什么？已经有3人回复
磁控溅射能做出金属镁薄膜吗已经有6人回复
关于磁控溅射镀膜设备的问题已经有4人回复
在反应磁控溅射中，如何计算混合气体中的气体偏压？已经有7人回复
在有机物薄膜上磁控溅射金属电极的问题已经有5人回复
有关磁控溅射ITO直流偏压电源的作用已经有2人回复
请教一个磁控溅射制备薄膜的问题，用相同功率的直流和射频溅射金属靶效果有什么不同？已经有13人回复
关于磁控溅射靶材的颗粒已经有10人回复
请教磁控溅射的气压和功率对薄膜质量的作用，谢谢！已经有20人回复
求助关于磁控溅射清洗方面的问题~~~急急急已经有10人回复
磁控溅射做薄膜失败了吗已经有21人回复
磁控溅射与反应磁控溅射已经有18人回复
直流磁控溅射镀膜总是被氧化已经有42人回复
我用磁控溅射镀的硼膜，是这个样子的，请问高手们是什么原因，该怎么办？已经有9人回复
电子束蒸发镀膜和磁控溅射镀膜所得薄膜有什么区别？已经有17人回复
磁控溅射镀氧化铝已经有35人回复
【求助】磁控溅射时的基板问题已经有4人回复
【求助】磁控溅射靶材与衬底的距离已经有20人回复

己所不欲，勿施于人。

1楼 2012-11-12 14:32:15

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

zirencharles

铁杆木虫 (正式写手)

应助: 6 (幼儿园)
金币: 4857.6
散金: 1145
红花: 7
帖子: 817
在线: 81.7小时
虫号: 934238
注册: 2009-12-28
性别: GG
专业: 机构学与机器人

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
aaapple5: 金币+5, ★★★很有帮助, 磁控溅射仪都有膜厚计吗，怎么用的？一般是老师在操作仪器，我都是镀完了去测台阶的。我在基台上既放石英片又放玻片，同一批下来它们的膜厚会不会不同？我如果金银双靶共溅射它们的组分会不会不同？ 2012-11-12 16:14:32

厚度可以由膜厚计控制，成分跟基底没有关系。据我所知，如果镀膜属于纳米岛膜类型的话，基底确实对膜的质量有影响，主要表现在折射率、透光度、纳米岛的附着等方面，另外如果是做增强的话，会对增强因子有很大影响。希望对你有帮助。