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aaapple5

金虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射不同基底对薄膜的影响

我镀的的是金和银,用了两种基底:石英和玻片,导师说玻片和石英片表面
悬挂键不同,可能镀出来薄膜之间有差异,特别是很薄的薄膜,差异会更大
求教一下会有哪些差异?厚度,成分,平整度,表面形貌?
为什么会产生这些差异?
谢谢啦!
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己所不欲,勿施于人。
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zirencharles

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
aaapple5: 金币+5, ★★★很有帮助, 磁控溅射仪都有膜厚计吗,怎么用的?一般是老师在操作仪器,我都是镀完了去测台阶的。我在基台上既放石英片又放玻片,同一批下来它们的膜厚会不会不同?我如果金银双靶共溅射它们的组分会不会不同? 2012-11-12 16:14:32
厚度可以由膜厚计控制,成分跟基底没有关系。据我所知,如果镀膜属于纳米岛膜类型的话,基底确实对膜的质量有影响,主要表现在折射率、透光度、纳米岛的附着等方面,另外如果是做增强的话,会对增强因子有很大影响。希望对你有帮助。
2楼2012-11-12 15:52:45
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taolp

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
aaapple5: 金币+5, ★★★很有帮助, 石英和玻片表面形貌差很大吗?应该是石英表面更平整一些吧? 2012-11-19 18:18:42
玻片主要成分也是石英,应该表面键能不会差太多,而且金属晶体的晶胞本身就和二氧化硅失配,成不了键,所以我认为成分不会差太多。倒是两个样品的表面形貌会对镀膜后的粗糙度带来一定的影响
I'll be back
3楼2012-11-19 14:26:34
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taolp

金虫 (小有名气)

表面形貌我没测量过,要测粗糙度的话AFM最好,3D光学轮廓仪也行,台阶仪也可以作为参考。玻片根据制备方法不同粗糙度也不同的
I'll be back
4楼2012-11-21 10:14:07
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