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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 金属 » 设备仪器 » 磁控溅射不同基底对薄膜的影响
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aaapple5

金虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射不同基底对薄膜的影响

我镀的的是金和银，用了两种基底：石英和玻片，导师说玻片和石英片表面
悬挂键不同，可能镀出来薄膜之间有差异，特别是很薄的薄膜，差异会更大
求教一下会有哪些差异？厚度，成分，平整度，表面形貌？
为什么会产生这些差异？
谢谢啦！
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己所不欲，勿施于人。
1楼 2012-11-12 14:32:15
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taolp

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
aaapple5: 金币+5, ★★★很有帮助, 石英和玻片表面形貌差很大吗？应该是石英表面更平整一些吧？ 2012-11-19 18:18:42
玻片主要成分也是石英，应该表面键能不会差太多，而且金属晶体的晶胞本身就和二氧化硅失配，成不了键，所以我认为成分不会差太多。倒是两个样品的表面形貌会对镀膜后的粗糙度带来一定的影响
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I'll be back
3楼2012-11-19 14:26:34
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zirencharles

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
aaapple5: 金币+5, ★★★很有帮助, 磁控溅射仪都有膜厚计吗，怎么用的？一般是老师在操作仪器，我都是镀完了去测台阶的。我在基台上既放石英片又放玻片，同一批下来它们的膜厚会不会不同？我如果金银双靶共溅射它们的组分会不会不同？ 2012-11-12 16:14:32
厚度可以由膜厚计控制，成分跟基底没有关系。据我所知，如果镀膜属于纳米岛膜类型的话，基底确实对膜的质量有影响，主要表现在折射率、透光度、纳米岛的附着等方面，另外如果是做增强的话，会对增强因子有很大影响。希望对你有帮助。
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2楼2012-11-12 15:52:45
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taolp

金虫 (小有名气)
表面形貌我没测量过，要测粗糙度的话AFM最好，3D光学轮廓仪也行，台阶仪也可以作为参考。玻片根据制备方法不同粗糙度也不同的
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I'll be back
4楼2012-11-21 10:14:07
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