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静忆hh

铜虫 (初入文坛)

[求助] 如何将磁控溅射镀的膜与玻璃或者si基底分离呢,不求完整 已有4人参与

如何将磁控溅射镀的膜与玻璃或者si基底分离呢,不求完整
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weak_value

金虫 (正式写手)

我一般电子束蒸镀,不烘烤的话一般会脱膜

[ 发自小木虫客户端 ]
简简单单就好
9楼2014-11-13 11:12:10
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普通回帖

lee0803

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
静忆hh: 金币+5, ★★★很有帮助 2014-11-13 14:13:24
可以用腐蚀液腐蚀,用lift-off工艺也可以,这样一般在衬底上作出图形的。
你是想要单独把膜剥离出来?这个貌似很难实现的吧?
2楼2014-11-11 18:42:50
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静忆hh

铜虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by lee0803 at 2014-11-11 18:42:50
可以用腐蚀液腐蚀,用lift-off工艺也可以,这样一般在衬底上作出图形的。
你是想要单独把膜剥离出来?这个貌似很难实现的吧?

对啊,只要膜。试过用酸,膜会分离下来。放时间长了就全溶解了。
3楼2014-11-11 22:01:50
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cord

铁杆木虫 (著名写手)


【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
静忆hh: 金币+5, ★★★很有帮助 2014-11-13 14:13:33
前几年有一篇斯坦福大学的文章说用Ni膜就可以分离薄膜从硅片上,我回头找找。
具体你要分离的是什么膜?
4楼2014-11-12 00:26:42
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静忆hh

铜虫 (初入文坛)

引用回帖:
4楼: Originally posted by cord at 2014-11-12 00:26:42
前几年有一篇斯坦福大学的文章说用Ni膜就可以分离薄膜从硅片上,我回头找找。
具体你要分离的是什么膜?

先谢谢啦。  分离的事CaB6
5楼2014-11-12 10:07:14
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FLYFWY

木虫 (小有名气)

搭车同问,我也有相同的脱膜问题。用酸会把我的金属膜直接腐蚀掉,用碱也会发生电化学腐蚀。
6楼2014-11-12 11:00:29
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westwolf

木虫 (著名写手)


【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
静忆hh: 金币+5, ★★★很有帮助 2014-11-13 14:13:41
先用化学湿法旋镀或者浸镀一层与基底材料作用很若的有机膜,如c32h66,再溅射镀金属膜,很容易将金属膜剥离基底表面。

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
7楼2014-11-12 21:18:50
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静忆hh

铜虫 (初入文坛)

引用回帖:
7楼: Originally posted by westwolf at 2014-11-12 21:18:50
先用化学湿法旋镀或者浸镀一层与基底材料作用很若的有机膜,如c32h66,再溅射镀金属膜,很容易将金属膜剥离基底表面。

也想过类似的方法,可是我想要对比的是不同基底对镀的CaB6生长的影响
8楼2014-11-13 10:42:13
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dwysd

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
静忆hh: 金币+5, ★★★很有帮助 2014-11-13 14:12:41
可以用单晶食盐晶体作为基底材料,镀膜后溶解即可。单晶食盐基底可以买到的。
10楼2014-11-13 11:44:05
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