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chenyuqiong银虫 (小有名气)
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射频磁控溅射溅不上东西怎么回事 已有2人参与
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| 我做射频磁控溅射,靶材是羟基磷灰石,溅射了两个小时,结果拿出来发现基体表面没溅射上羟基磷灰石,不知道是怎么回事。求助! |
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2楼2014-06-08 15:30:54
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挡板打开没?靶材有被刻蚀痕迹么?你的基底是什么?基底有加热么?
chenyuqiong