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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料化学 » 射频磁控溅射溅不上东西怎么回事
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chenyuqiong

银虫 (小有名气)

[求助] 射频磁控溅射溅不上东西怎么回事 已有2人参与

我做射频磁控溅射，靶材是羟基磷灰石，溅射了两个小时，结果拿出来发现基体表面没溅射上羟基磷灰石，不知道是怎么回事。求助！
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1楼 2014-05-28 20:28:35
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陈洁涵

金虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

应该是你入射和反射没调好，得把反射功率调到最低，不然起辉只在靶和基片间震荡，镀不到膜上
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只做最好的自己
2楼2014-06-08 15:30:54
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刺客yl

铁虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

挡板打开没？靶材有被刻蚀痕迹么？你的基底是什么？基底有加热么？
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3楼2014-06-09 10:32:12
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chenyuqiong

银虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 陈洁涵 at 2014-06-08 15:30:54
应该是你入射和反射没调好，得把反射功率调到最低，不然起辉只在靶和基片间震荡，镀不到膜上

您好！我的反射功率有调到最低了，不过反射功率有时有点不稳定，最后发现台面上有漏水，不知道是怎么回事。请问您知道吗？
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4楼2014-06-12 14:53:19
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chenyuqiong

银虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 刺客yl at 2014-06-09 10:32:12
挡板打开没？靶材有被刻蚀痕迹么？你的基底是什么？基底有加热么？

挡板打开了，之前前段时间溅射过一次的，有镀上去，但是这一次就没有，还有在台面还有漏水，请问您知道什么原因吗
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5楼2014-06-12 14:55:09
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刺客yl

铁虫 (正式写手)
引用回帖:
5楼: Originally posted by chenyuqiong at 2014-06-12 14:55:09
挡板打开了，之前前段时间溅射过一次的，有镀上去，但是这一次就没有，还有在台面还有漏水，请问您知道什么原因吗...

我们的设备以前漏水过，漏水引起的就是温度控制不均匀，上边的聚四氟容易软化。不是里边漏水就行。
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chenyuqiong
6楼2014-06-12 15:01:13
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chenyuqiong

银虫 (小有名气)
送红花一朵
引用回帖:
6楼: Originally posted by 刺客yl at 2014-06-12 15:01:13
我们的设备以前漏水过，漏水引起的就是温度控制不均匀，上边的聚四氟容易软化。不是里边漏水就行。...

谢谢！但是为什么就是镀不上去呢？上回没漏水镀上去了
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7楼2014-06-12 16:03:40
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山川美咲子

新虫 (初入文坛)
想问下楼主最终溅射的涂层是羟基磷灰石这种物质吗？还是其他物质但钙磷比为1.67
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8楼2016-03-09 15:23:23
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