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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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chenyuqiong

银虫 (小有名气)

[求助] 射频磁控溅射溅不上东西怎么回事 已有2人参与

我做射频磁控溅射,靶材是羟基磷灰石,溅射了两个小时,结果拿出来发现基体表面没溅射上羟基磷灰石,不知道是怎么回事。求助!
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刺客yl

铁虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

挡板打开没?靶材有被刻蚀痕迹么?你的基底是什么?基底有加热么?
3楼2014-06-09 10:32:12
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陈洁涵

金虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

应该是你入射和反射没调好,得把反射功率调到最低,不然起辉只在靶和基片间震荡,镀不到膜上
只做最好的自己
2楼2014-06-08 15:30:54
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chenyuqiong

银虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 陈洁涵 at 2014-06-08 15:30:54
应该是你入射和反射没调好,得把反射功率调到最低,不然起辉只在靶和基片间震荡,镀不到膜上

您好!我的反射功率有调到最低了,不过反射功率有时有点不稳定,最后发现台面上有漏水,不知道是怎么回事。请问您知道吗?
4楼2014-06-12 14:53:19
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chenyuqiong

银虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by 刺客yl at 2014-06-09 10:32:12
挡板打开没?靶材有被刻蚀痕迹么?你的基底是什么?基底有加热么?

挡板打开了,之前前段时间溅射过一次的,有镀上去,但是这一次就没有,还有在台面还有漏水,请问您知道什么原因吗
5楼2014-06-12 14:55:09
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