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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 晶体 » 晶体应用 » 关于磁控溅射完金属氧化物后退火问题
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尘隐土

木虫 (正式写手)

贫困区

[求助] 关于磁控溅射完金属氧化物后退火问题 已有3人参与

磁控溅射完金属氧化物或者金属，是让他先自然冷却拿出来还是拿出去直接拿去退火，要怎么样退火才能更好结晶。
关于退火结晶这方面有没有相关资料和书籍，请大神介绍几篇。
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1楼 2014-03-14 11:18:36
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bryano

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

要看你的氧化物退火需要什么条件，比如需要还原气氛还是一定氧压？
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8楼2014-05-15 12:54:36
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lzguoqing

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

退火处理主要影响因素是你退火时的温度和退火时间，和是否刚刚沉积没有关系。但是值得注意的是拿出样品时，若金属容易氧化，则应该充分冷却后再取出。同时，应该注意退火时的气氛。退火重要的得到你所要求的物相，参考文献中的温度和时间很重要，还要注意你所用热处理炉的控温精度。
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2楼2014-04-10 08:46:02
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尘隐土

木虫 (正式写手)

贫困区
引用回帖:
2楼: Originally posted by lzguoqing at 2014-04-10 08:46:02
退火处理主要影响因素是你退火时的温度和退火时间，和是否刚刚沉积没有关系。但是值得注意的是拿出样品时，若金属容易氧化，则应该充分冷却后再取出。同时，应该注意退火时的气氛。退火重要的得到你所要求的物相，参 ...

有相关的文献和书吗
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3楼2014-04-10 10:27:57
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橙色的子橙

新虫 (正式写手)
楼主解决了嘛？我也遇到这个问题
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4楼2014-04-21 08:15:46
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