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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 晶体 » 晶体应用 » 关于磁控溅射完金属氧化物后退火问题
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尘隐土

木虫 (正式写手)

贫困区

[求助] 关于磁控溅射完金属氧化物后退火问题 已有3人参与

磁控溅射完金属氧化物或者金属，是让他先自然冷却拿出来还是拿出去直接拿去退火，要怎么样退火才能更好结晶。
关于退火结晶这方面有没有相关资料和书籍，请大神介绍几篇。
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1楼 2014-03-14 11:18:36
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lzguoqing

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

退火处理主要影响因素是你退火时的温度和退火时间，和是否刚刚沉积没有关系。但是值得注意的是拿出样品时，若金属容易氧化，则应该充分冷却后再取出。同时，应该注意退火时的气氛。退火重要的得到你所要求的物相，参考文献中的温度和时间很重要，还要注意你所用热处理炉的控温精度。
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2楼2014-04-10 08:46:02
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尘隐土

木虫 (正式写手)

贫困区
引用回帖:
2楼: Originally posted by lzguoqing at 2014-04-10 08:46:02
退火处理主要影响因素是你退火时的温度和退火时间，和是否刚刚沉积没有关系。但是值得注意的是拿出样品时，若金属容易氧化，则应该充分冷却后再取出。同时，应该注意退火时的气氛。退火重要的得到你所要求的物相，参 ...

有相关的文献和书吗
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3楼2014-04-10 10:27:57
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橙色的子橙

新虫 (正式写手)
楼主解决了嘛？我也遇到这个问题
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4楼2014-04-21 08:15:46
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尘隐土

木虫 (正式写手)

贫困区
引用回帖:
4楼: Originally posted by 橙色的子橙 at 2014-04-21 08:15:46
楼主解决了嘛？我也遇到这个问题

还没有，哈哈
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5楼2014-04-21 09:09:48
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chenjiahao

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

你看以看看MIT的thompson的文章，是关于退火对薄膜后期织构演化的影响，退火时会影响薄膜内部应力的变化，根据实际情况来判断是拉应力或者压应力，还有两者的大小，会使晶粒在垂直于基底面上进行扭转，从而晶粒取向发生变化。
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这个地方真不错
6楼2014-05-15 11:14:38
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chenjiahao

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

还有退火时，会产生部分再结晶现象，再结晶过程中继续生长的部分晶粒会消耗掉较小晶粒，类似于奥斯瓦尔德熟化，使较小晶粒消失，致使晶粒大小更趋于指数分布。同时由于温度升高，晶界运动会加剧，减少晶界空洞，是薄膜致密化，同时增温是表面的沉积原子能量增加，易于摆脱能量势垒，迁移率变大，从高处以往低处迁移，或者往边界缝隙处迁移，是薄膜表面趋于平坦化。
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这个地方真不错
7楼2014-05-15 11:21:31
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bryano

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

要看你的氧化物退火需要什么条件，比如需要还原气氛还是一定氧压？
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8楼2014-05-15 12:54:36
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