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关于磁控溅射完金属氧化物后退火问题 已有3人参与
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磁控溅射完金属氧化物或者金属，是让他先自然冷却拿出来还是拿出去直接拿去退火，要怎么样退火才能更好结晶。 关于退火结晶这方面有没有相关资料和书籍，请大神介绍几篇。 |
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4楼2014-04-21 08:15:46
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