24小时热门版块排行榜    

Znn3bq.jpeg
查看: 1693  |  回复: 7

尘隐土

木虫 (正式写手)

贫困区

[求助] 关于磁控溅射完金属氧化物后退火问题 已有3人参与

磁控溅射完金属氧化物或者金属,是让他先自然冷却拿出来还是拿出去直接拿去退火,要怎么样退火才能更好结晶。
关于退火结晶这方面有没有相关资料和书籍,请大神介绍几篇。
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

lzguoqing

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

退火处理主要影响因素是你退火时的温度和退火时间,和是否刚刚沉积没有关系。但是值得注意的是拿出样品时,若金属容易氧化,则应该充分冷却后再取出。同时,应该注意退火时的气氛。退火重要的得到你所要求的物相,参考文献中的温度和时间很重要,还要注意你所用热处理炉的控温精度。
2楼2014-04-10 08:46:02
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

尘隐土

木虫 (正式写手)

贫困区

引用回帖:
2楼: Originally posted by lzguoqing at 2014-04-10 08:46:02
退火处理主要影响因素是你退火时的温度和退火时间,和是否刚刚沉积没有关系。但是值得注意的是拿出样品时,若金属容易氧化,则应该充分冷却后再取出。同时,应该注意退火时的气氛。退火重要的得到你所要求的物相,参 ...

有相关的文献和书吗
3楼2014-04-10 10:27:57
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

橙色的子橙

新虫 (正式写手)

楼主解决了嘛?我也遇到这个问题
4楼2014-04-21 08:15:46
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

尘隐土

木虫 (正式写手)

贫困区

引用回帖:
4楼: Originally posted by 橙色的子橙 at 2014-04-21 08:15:46
楼主解决了嘛?我也遇到这个问题

还没有,哈哈
5楼2014-04-21 09:09:48
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

chenjiahao

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

你看以看看MIT的thompson的文章,是关于退火对薄膜后期织构演化的影响,退火时会影响薄膜内部应力的变化,根据实际情况来判断是拉应力或者压应力,还有两者的大小,会使晶粒在垂直于基底面上进行扭转,从而晶粒取向发生变化。
这个地方真不错
6楼2014-05-15 11:14:38
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

chenjiahao

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

还有退火时,会产生部分再结晶现象,再结晶过程中继续生长的部分晶粒会消耗掉较小晶粒,类似于奥斯瓦尔德熟化,使较小晶粒消失,致使晶粒大小更趋于指数分布。同时由于温度升高,晶界运动会加剧,减少晶界空洞,是薄膜致密化,同时增温是表面的沉积原子能量增加,易于摆脱能量势垒,迁移率变大,从高处以往低处迁移,或者往边界缝隙处迁移,是薄膜表面趋于平坦化。
这个地方真不错
7楼2014-05-15 11:21:31
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

bryano

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

要看你的氧化物退火需要什么条件,比如需要还原气氛还是一定氧压?
8楼2014-05-15 12:54:36
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 尘隐土 的主题更新
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 277 数一104,学硕,求调剂 +17 瓶子PZ 2026-04-09 18/900 2026-04-10 22:47 by 来看流星雨10
[考研] 求调剂 +9 张番茄不炒蛋 2026-04-10 10/500 2026-04-10 22:07 by 小小虫瓜
[考研] 309求调剂 +14 wdhw 2026-04-10 15/750 2026-04-10 21:06 by zhouxiaoyu
[考研] 材料工程日语考生求调剂 +5 0856?调剂 2026-04-10 5/250 2026-04-10 20:45 by yukihao
[考研] 22408调剂求助 +5 毂12 2026-04-09 7/350 2026-04-10 16:32 by 高维春
[考研] 337求调剂 +3 研s. 2026-04-10 3/150 2026-04-10 16:20 by 木子君1218
[考研] 一志愿211,化学学硕,310分,本科重点双非,求调剂 +27 努力奋斗112 2026-04-07 30/1500 2026-04-10 15:06 by Kilig0317
[考研] 化工调剂求导师收留!一志愿失利,踏实肯干,有植物提取科研经历 +17 yzyzx 2026-04-09 17/850 2026-04-10 10:29 by wp06
[考研] 生物与医药调剂 +5 十七sa 2026-04-05 5/250 2026-04-10 08:14 by kangsm
[考研] 调剂 +19 2261744733 2026-04-08 19/950 2026-04-09 19:11 by vgtyfty
[考研] 一志愿中国科学院上海有机所,有机化学356分找调剂 +11 Nadiums 2026-04-09 11/550 2026-04-09 18:04 by lijunpoly
[考研] 求调剂希望还是希望在山河四省附近 +3 快乐的小白鸽 2026-04-05 3/150 2026-04-09 17:36 by wp06
[考研] 一志愿0807 数一英一 313 有没有二轮调剂 +11 emokidd 2026-04-08 12/600 2026-04-09 09:24 by wyf236
[考研] 专硕085403,291分,有两篇专利,一国一奖 +3 哈吉咪哈吉咪 2026-04-07 3/150 2026-04-07 18:21 by 蓝云思雨
[考研] 一志愿苏州大学材料工程(085601)专硕有科研经历三项国奖两个实用型专利一项省级立项 +11 大火山小火山 2026-04-05 11/550 2026-04-06 22:55 by yunlongyang
[考研] 307求调剂 +3 所念及所望 2026-04-06 3/150 2026-04-06 17:30 by 土木硕士招生
[考研] 材料工程310专硕调剂 +14 捞捞我…. 2026-04-04 15/750 2026-04-06 14:18 by lqwchd
[考研] 0857大类环境工程B区求调剂 +3 龚禹铭 2026-04-05 3/150 2026-04-06 10:22 by 蓝云思雨
[考研] 322求调剂 +3 嗯哼哼恒 2026-04-05 3/150 2026-04-05 19:52 by nepu_uu
[考研] 一志愿9材料学硕297已过六级求调剂推荐 +11 adaie 2026-04-04 12/600 2026-04-05 19:04 by 蓝云思雨
信息提示
请填处理意见