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573214536木虫 (著名写手)
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求助：磁控溅射真空抽不上来 已有3人参与
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小虫今年研一，刚接触磁控溅射，对设备还不是特别了解，最近开学老板让先抽抽真空，检查下设备是否正常，结果为题来了，抽真空隔三差五的抽不上来。 都是低真空抽不上来，粗抽每次只能抽到2～3Pa，正常情况下应该是抽到0.3Pa左右的，用的是油机械泵。 2月13号——23号抽过几次全部正常， 23号抽不上来， 24号正常， 25号抽了两次，第一次正常，第二次抽不上来， 26号正常，精抽最低到7×10*ˉ4，扩散泵铭牌上标注极限压力5×10*ˉ4。 27号抽不上来， 28号（今天）抽不上来， 现在可以确定的是： 1、泵油没有问题。今天刚换过，结果跟没换一样，还是抽不上来。 2、系统漏气基本可消除，26号精抽已可以近设备的极限真空。 3、前级阀、扩散泵应该没问题，问题是出现在粗抽阶段。 有两个奇怪的现象就是，第一个是机械泵的声音比较安静。之前正常运转时，开粗抽之前机械泵噪音会比刚开始的时候大，但是现在从开始到粗抽一直都没有变化，没有哒哒哒哒的响声，好像很疲软一样。第二个就是机械泵电动机皮带轮发热严重，烫手，导师怀疑是皮带打滑导致机械泵转速不够。还有其他可能否？有哪位遇到过相似情况的木有？求高手分析！求解决！不胜感激！ |
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wangshaobin
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【答案】应助回帖
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573214536: 金币+8, ★★★很有帮助 2014-03-13 15:19:14
573214536: 金币+8, ★★★很有帮助 2014-03-13 15:19:14
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轻微漏气（真空度低） 把真空度不能抽到规定指标的各种现象，都归结为漏气。 原因： 1）真空泵密封性欠佳 2）油路调节得不合适，致使供油量过小或过大，切点间隙难形成密封油膜易于“反突破”串气。 3）抽大气时零部件轻微损坏。 4）阀门片密合不好，轴密封圈损坏，轴封缺油，掺气阀未拧紧或密封垫等损坏，真空泵油不够，旋片、转子、弹簧损坏，泵腔被划伤，装配间隙过大。 建议按以下方案排查 1、真空泵（泵口）极限： 将机械泵在系统上拆下，加盲板及热偶规管，对泵口测试。 泵口测真空度P≤1Pa 2、阀片检查 压簧检查： 将机械泵的上盖拆下，用手凭感觉对阀片及压簧进行测试。 阀片弹性好，无老化无裂伤，装配试机时无异声，油面平稳。 3、旋片检查 旋片弹簧： 拆装方法（1）按放油方法放油，拆罩壳，三角带，把泵从公共磨盘上拆下；（2）拆下外伸的低级泵盖，拔出低级转子；（3）取出低级旋片及弹簧销和平键；（4）拆下皮带轮、键、高级泵盖，拉出高级转子和旋片，拉转时应防止碰伤；（5）逐一拆下侧盖油盒及灰尘（6）对拆下的零部件逐一清洗，用汽油或丙酮，然后烘干。装配反之。 4、检查、修整（或更换）旋片，旋片弹簧换油。 旋片与转子、定子的接触面无划痕；旋片弹簧弹性相同，有断裂不良情况及时更换。 密封检查轴承 拆装过程中，检查各密封件及高级转子两端的轴承。 油封弹性好、接触面不老化，无裂伤， 轴承运转灵活无卡滞。 |
5楼2014-03-13 11:19:31
Easony
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