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573214536木虫 (著名写手)
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求助：磁控溅射真空抽不上来 已有3人参与
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小虫今年研一，刚接触磁控溅射，对设备还不是特别了解，最近开学老板让先抽抽真空，检查下设备是否正常，结果为题来了，抽真空隔三差五的抽不上来。 都是低真空抽不上来，粗抽每次只能抽到2～3Pa，正常情况下应该是抽到0.3Pa左右的，用的是油机械泵。 2月13号——23号抽过几次全部正常， 23号抽不上来， 24号正常， 25号抽了两次，第一次正常，第二次抽不上来， 26号正常，精抽最低到7×10*ˉ4，扩散泵铭牌上标注极限压力5×10*ˉ4。 27号抽不上来， 28号（今天）抽不上来， 现在可以确定的是： 1、泵油没有问题。今天刚换过，结果跟没换一样，还是抽不上来。 2、系统漏气基本可消除，26号精抽已可以近设备的极限真空。 3、前级阀、扩散泵应该没问题，问题是出现在粗抽阶段。 有两个奇怪的现象就是，第一个是机械泵的声音比较安静。之前正常运转时，开粗抽之前机械泵噪音会比刚开始的时候大，但是现在从开始到粗抽一直都没有变化，没有哒哒哒哒的响声，好像很疲软一样。第二个就是机械泵电动机皮带轮发热严重，烫手，导师怀疑是皮带打滑导致机械泵转速不够。还有其他可能否？有哪位遇到过相似情况的木有？求高手分析！求解决！不胜感激！ |
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7楼2014-03-13 15:19:19
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