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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 求助：磁控溅射真空抽不上来
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573214536

木虫 (著名写手)

[求助] 求助：磁控溅射真空抽不上来已有3人参与

小虫今年研一，刚接触磁控溅射，对设备还不是特别了解，最近开学老板让先抽抽真空，检查下设备是否正常，结果为题来了，抽真空隔三差五的抽不上来。
都是低真空抽不上来，粗抽每次只能抽到2～3Pa，正常情况下应该是抽到0.3Pa左右的，用的是油机械泵。
2月13号——23号抽过几次全部正常，
23号抽不上来，
24号正常，
25号抽了两次，第一次正常，第二次抽不上来，
26号正常，精抽最低到7×10*ˉ4，扩散泵铭牌上标注极限压力5×10*ˉ4。
27号抽不上来，
28号（今天）抽不上来，
现在可以确定的是：
1、泵油没有问题。今天刚换过，结果跟没换一样，还是抽不上来。
2、系统漏气基本可消除，26号精抽已可以近设备的极限真空。
3、前级阀、扩散泵应该没问题，问题是出现在粗抽阶段。
有两个奇怪的现象就是，第一个是机械泵的声音比较安静。之前正常运转时，开粗抽之前机械泵噪音会比刚开始的时候大，但是现在从开始到粗抽一直都没有变化，没有哒哒哒哒的响声，好像很疲软一样。第二个就是机械泵电动机皮带轮发热严重，烫手，导师怀疑是皮带打滑导致机械泵转速不够。还有其他可能否？有哪位遇到过相似情况的木有？求高手分析！求解决！不胜感激！
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1楼2014-02-28 15:11:43
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573214536

木虫 (著名写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by Easony at 2014-02-28 15:42:19
真空条件有问题，你检查一下装置吧

您能否详说下？跟老板围着这设备转了两天了，起初怀疑阀门有问题，后来发现不是，又猜想油被氧化，结果还是不行...
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3楼2014-02-28 15:55:16
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Easony

至尊木虫 (知名作家)

老顽童

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
573214536: 金币+1 2014-02-28 19:54:01
真空条件有问题，你检查一下装置吧
赞一下 回复此楼
自信，坚持，善良，真实，简单生活，敢爱敢恨！
2楼2014-02-28 15:42:19
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xiaomagescu

至尊木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
573214536: 金币+1 2014-03-03 12:49:48
有可能是哪里漏气了，我们实验室以前就是这种情况
赞一下 回复此楼
欢迎高温腐蚀（氧化）方面的朋友
4楼2014-03-02 16:45:38
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wangshaobin

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
573214536: 金币+8, ★★★很有帮助 2014-03-13 15:19:14
轻微漏气（真空度低）
把真空度不能抽到规定指标的各种现象，都归结为漏气。
原因：
     1）真空泵密封性欠佳
     2）油路调节得不合适，致使供油量过小或过大，切点间隙难形成密封油膜易于“反突破”串气。
3）抽大气时零部件轻微损坏。
4）阀门片密合不好，轴密封圈损坏，轴封缺油，掺气阀未拧紧或密封垫等损坏，真空泵油不够，旋片、转子、弹簧损坏，泵腔被划伤，装配间隙过大。
建议按以下方案排查
1、真空泵（泵口）极限：
  将机械泵在系统上拆下，加盲板及热偶规管，对泵口测试。        泵口测真空度P≤1Pa
2、阀片检查 压簧检查：
  将机械泵的上盖拆下，用手凭感觉对阀片及压簧进行测试。 阀片弹性好，无老化无裂伤，装配试机时无异声，油面平稳。
3、旋片检查 旋片弹簧：
  拆装方法（1）按放油方法放油，拆罩壳，三角带，把泵从公共磨盘上拆下；（2）拆下外伸的低级泵盖，拔出低级转子；（3）取出低级旋片及弹簧销和平键；（4）拆下皮带轮、键、高级泵盖，拉出高级转子和旋片，拉转时应防止碰伤；（5）逐一拆下侧盖油盒及灰尘（6）对拆下的零部件逐一清洗，用汽油或丙酮，然后烘干。装配反之。
4、检查、修整（或更换）旋片，旋片弹簧换油。
  旋片与转子、定子的接触面无划痕；旋片弹簧弹性相同，有断裂不良情况及时更换。
  密封检查轴承        拆装过程中，检查各密封件及高级转子两端的轴承。        油封弹性好、接触面不老化，无裂伤，   轴承运转灵活无卡滞。
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5楼2014-03-13 11:19:31
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