应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 求助：磁控溅射真空抽不上来
北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
51/1返回列表
查看: 1930  |  回复: 10
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

573214536

木虫 (著名写手)

[求助] 求助：磁控溅射真空抽不上来 已有3人参与

小虫今年研一，刚接触磁控溅射，对设备还不是特别了解，最近开学老板让先抽抽真空，检查下设备是否正常，结果为题来了，抽真空隔三差五的抽不上来。
都是低真空抽不上来，粗抽每次只能抽到2～3Pa，正常情况下应该是抽到0.3Pa左右的，用的是油机械泵。
2月13号——23号抽过几次全部正常，
23号抽不上来，
24号正常，
25号抽了两次，第一次正常，第二次抽不上来，
26号正常，精抽最低到7×10*ˉ4，扩散泵铭牌上标注极限压力5×10*ˉ4。
27号抽不上来，
28号（今天）抽不上来，
现在可以确定的是：
1、泵油没有问题。今天刚换过，结果跟没换一样，还是抽不上来。
2、系统漏气基本可消除，26号精抽已可以近设备的极限真空。
3、前级阀、扩散泵应该没问题，问题是出现在粗抽阶段。
有两个奇怪的现象就是，第一个是机械泵的声音比较安静。之前正常运转时，开粗抽之前机械泵噪音会比刚开始的时候大，但是现在从开始到粗抽一直都没有变化，没有哒哒哒哒的响声，好像很疲软一样。第二个就是机械泵电动机皮带轮发热严重，烫手，导师怀疑是皮带打滑导致机械泵转速不够。还有其他可能否？有哪位遇到过相似情况的木有？求高手分析！求解决！不胜感激！
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2014-02-28 15:11:43
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

mobai636

铜虫 (小有名气)
可以换皮带试试

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
回复此楼
8楼2014-03-20 21:36:43
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 11 个回答

Easony

至尊木虫 (知名作家)

老顽童

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
573214536: 金币+1 2014-02-28 19:54:01
真空条件有问题，你检查一下装置吧
赞一下 回复此楼
自信，坚持，善良，真实，简单生活，敢爱敢恨！
2楼2014-02-28 15:42:19
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

573214536

木虫 (著名写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by Easony at 2014-02-28 15:42:19
真空条件有问题，你检查一下装置吧

您能否详说下？跟老板围着这设备转了两天了，起初怀疑阀门有问题，后来发现不是，又猜想油被氧化，结果还是不行...
赞一下 回复此楼
3楼2014-02-28 15:55:16
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

xiaomagescu

至尊木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
573214536: 金币+1 2014-03-03 12:49:48
有可能是哪里漏气了，我们实验室以前就是这种情况
赞一下 回复此楼
欢迎高温腐蚀（氧化）方面的朋友
4楼2014-03-02 16:45:38
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 11 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 材料与化工调剂一志愿大连海事085600，349 +6 吃的不少 2026-03-30 6/300 2026-03-31 04:17 by fmesaito
[考研] 学硕274求调剂 +12 Li李鱼 2026-03-26 12/600 2026-03-31 03:56 by fmesaito
[考研] 食品工程专硕一志愿中海洋309求调剂 +5 小张zxy张 2026-03-26 10/500 2026-03-31 00:29 by jp9609
[考研] 317求调剂 +8 十闲wx 2026-03-24 8/400 2026-03-30 21:00 by peike
[考研] 105500药学求调剂，一志愿山东大学药学，348分 +3 gr哈哈哈 2026-03-28 3/150 2026-03-30 18:56 by 源_2020
[考研] 化工专硕求调剂 +5 question挽风 2026-03-24 5/250 2026-03-30 18:34 by tianyyysss
[考研] 293求调剂 +3 末未mm 2026-03-30 5/250 2026-03-30 17:23 by 王保杰33
[考研] 化学0703 调剂 306分 一志愿211 +8 26要上岸 2026-03-28 8/400 2026-03-30 16:39 by herarysara
[考研] 求调剂323材料与化工 +10 1124361 2026-03-24 10/500 2026-03-30 16:26 by 690616278
[考研] 311求调剂 +6 冬十三 2026-03-24 6/300 2026-03-29 20:45 by 无际的草原
[考研] 289求调剂 +5 BrightLL 2026-03-29 5/250 2026-03-29 17:24 by zhyzzh
[考研] 086000生物与医药调剂 +5 Feisty。 2026-03-28 9/450 2026-03-29 12:02 by longlotian
[考研] 352分-085602-一志愿985 +5 海纳百川Ly 2026-03-29 5/250 2026-03-29 09:57 by Sjndkwm
[考研] 071000生物学求调剂，初试成绩343 +7 小小甜面团 2026-03-25 7/350 2026-03-28 20:25 by 唐沐儿
[考研] 320分，材料与化工专业，求调剂 +9 一定上岸aaa 2026-03-27 13/650 2026-03-28 15:00 by 神马都不懂
[考研] 339求调剂，想调回江苏 +6 烤麦芽 2026-03-27 8/400 2026-03-28 10:40 by 烤麦芽
[考研] 070300化学求调剂 +4 起个名咋这么难 2026-03-27 4/200 2026-03-27 21:39 by 83503孙老师
[考研] 求调剂 +4 零八# 2026-03-27 4/200 2026-03-27 18:07 by yu221
[考研] 272求调剂 +7 脚滑的守法公民 2026-03-27 7/350 2026-03-27 17:23 by laoshidan
[考研] 调剂 +4 13853210211 2026-03-24 4/200 2026-03-24 19:44 by ms629
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭