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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 求助：磁控溅射真空抽不上来
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573214536

木虫 (著名写手)

[求助] 求助：磁控溅射真空抽不上来已有3人参与

小虫今年研一，刚接触磁控溅射，对设备还不是特别了解，最近开学老板让先抽抽真空，检查下设备是否正常，结果为题来了，抽真空隔三差五的抽不上来。
都是低真空抽不上来，粗抽每次只能抽到2～3Pa，正常情况下应该是抽到0.3Pa左右的，用的是油机械泵。
2月13号——23号抽过几次全部正常，
23号抽不上来，
24号正常，
25号抽了两次，第一次正常，第二次抽不上来，
26号正常，精抽最低到7×10*ˉ4，扩散泵铭牌上标注极限压力5×10*ˉ4。
27号抽不上来，
28号（今天）抽不上来，
现在可以确定的是：
1、泵油没有问题。今天刚换过，结果跟没换一样，还是抽不上来。
2、系统漏气基本可消除，26号精抽已可以近设备的极限真空。
3、前级阀、扩散泵应该没问题，问题是出现在粗抽阶段。
有两个奇怪的现象就是，第一个是机械泵的声音比较安静。之前正常运转时，开粗抽之前机械泵噪音会比刚开始的时候大，但是现在从开始到粗抽一直都没有变化，没有哒哒哒哒的响声，好像很疲软一样。第二个就是机械泵电动机皮带轮发热严重，烫手，导师怀疑是皮带打滑导致机械泵转速不够。还有其他可能否？有哪位遇到过相似情况的木有？求高手分析！求解决！不胜感激！
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1楼2014-02-28 15:11:43
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0911530215

至尊木虫 (知名作家)
哪儿有微漏，密封面和管道接口，有氦气捡漏么

发自小木虫Android客户端
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10楼2016-03-14 18:02:23
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Easony

至尊木虫 (知名作家)

老顽童

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
573214536: 金币+1 2014-02-28 19:54:01
真空条件有问题，你检查一下装置吧
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自信，坚持，善良，真实，简单生活，敢爱敢恨！
2楼2014-02-28 15:42:19
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573214536

木虫 (著名写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by Easony at 2014-02-28 15:42:19
真空条件有问题，你检查一下装置吧

您能否详说下？跟老板围着这设备转了两天了，起初怀疑阀门有问题，后来发现不是，又猜想油被氧化，结果还是不行...
赞一下 回复此楼
3楼2014-02-28 15:55:16
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xiaomagescu

至尊木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
573214536: 金币+1 2014-03-03 12:49:48
有可能是哪里漏气了，我们实验室以前就是这种情况
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欢迎高温腐蚀（氧化）方面的朋友
4楼2014-03-02 16:45:38
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