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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 工艺技术 » 工艺设计 » 磁控溅射镀碳膜没有镀上去
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茉莉花开1

新虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射镀碳膜没有镀上去已有2人参与

请教高手一个问题，在用磁控溅射射频镀碳膜的时候，发现起辉等射频工作都正常，镀了两个小时后取出来样品表面没有变化，碳膜没有镀上去。有没有哪位同学知道是怎么一回事呀。谢谢。
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1楼2013-12-30 20:32:57
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千年积雪

新虫 (初入文坛)
★
tyhjqxbz: 金币+1, 感谢交流 2013-12-31 08:29:35
挡板是否开启，靶材表面是否清洁，有无预溅射过程，其它的参数设置检查有无设置不合理的没有？

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2楼2013-12-30 21:29:34
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茉莉花开1

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 千年积雪 at 2013-12-30 21:29:34
挡板是否开启，靶材表面是否清洁，有无预溅射过程，其它的参数设置检查有无设置不合理的没有？

挡板打开了，靶材没有问题，也预溅射了。其他的参数跟之前的没有差别，功率是150W。我注意到一个问题，我在溅射完成后取样品时，那个台子是冰的，正常情况下溅射了两个小时应该是有温度的呀。不知道机器方面有没有问题。  谢谢您。
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3楼2013-12-30 21:43:22
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千年积雪

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 茉莉花开1 at 2013-12-30 21:43:22
挡板打开了，靶材没有问题，也预溅射了。其他的参数跟之前的没有差别，功率是150W。我注意到一个问题，我在溅射完成后取样品时，那个台子是冰的，正常情况下溅射了两个小时应该是有温度的呀。不知道机器方面有没有 ...

没有真正溅射，所以托盘是冷的。你换成溅射别的非金属材料采用同样溅射条件尝试一下结果是不是一样情况，以判断机台是否出现问题了。

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茉莉花开1
4楼2013-12-30 21:56:18
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茉莉花开1

新虫 (初入文坛)
送红花一朵
引用回帖:
4楼: Originally posted by 千年积雪 at 2013-12-30 21:56:18
没有真正溅射，所以托盘是冷的。你换成溅射别的非金属材料采用同样溅射条件尝试一下结果是不是一样情况，以判断机台是否出现问题了。
...

好的。谢谢你。
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5楼2013-12-31 13:59:47
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qizeyan1012

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
茉莉花开1(tyhjqxbz代发): 金币+1, 感谢发帖交流 2014-01-03 08:24:51
据我的经验，可能你这溅射仪以前的靶材不是镀碳的，现在你用来镀碳，用的工艺参数还没有改过来，导致你的膜没有镀上，也有可能你这工艺参数没问题，但是操作过程中某一部分出现了偏差，例如，保护气通入的时候进入了一部分空气，导致溅射的时候产生辉光，但是靶材上出来的粒子并没有镀到样品上，这些东西都有可能，你可以再做一次，确定你工艺参数没问题后在操作上花功夫，保证万无一失。祝你成功。
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6楼2014-01-02 10:58:41
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心在飘

木虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★
scu2020: 金币+1, 感谢应助交流，常来工艺技术版 2014-02-16 23:17:02
根据我的经验，溅射两个小时，即使能镀上碳，厚度也在一百纳米以内，这个厚度下，碳膜基本是透明的，看不到，你多镀几个小时，比如十个小时，就会看到了
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7楼2014-02-16 21:48:04
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玉面小飞龙

木虫 (著名写手)
★
scu2020: 金币+1, 感谢应助交流，常来工艺技术版 2014-02-17 23:15:15
镀碳？是靶材还是粉末？是不是漏气了？
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8楼2014-02-17 16:16:20
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bsbx

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 千年积雪 at 2013-12-30 21:29:34
挡板是否开启，靶材表面是否清洁，有无预溅射过程，其它的参数设置检查有无设置不合理的没有？

我怎么加入文坛
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bargain with fate
9楼2014-10-16 22:08:18
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笑月天郎

木虫 (小有名气)
楼主用的直流还是射频，直流可以镀上但是电压会一直升高！请问楼主有没有遇到类似问题？
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10楼2014-12-27 16:39:14
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