应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 工艺技术 » 工艺设计 » 磁控溅射镀碳膜没有镀上去
51/1返回列表
查看: 3687  |  回复: 12
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

茉莉花开1

新虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射镀碳膜没有镀上去 已有2人参与

请教高手一个问题，在用磁控溅射射频镀碳膜的时候，发现起辉等射频工作都正常，镀了两个小时后取出来样品表面没有变化，碳膜没有镀上去。有没有哪位同学知道是怎么一回事呀。谢谢。
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2013-12-30 20:32:57
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

qizeyan1012

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
茉莉花开1(tyhjqxbz代发): 金币+1, 感谢发帖交流 2014-01-03 08:24:51
据我的经验，可能你这溅射仪以前的靶材不是镀碳的，现在你用来镀碳，用的工艺参数还没有改过来，导致你的膜没有镀上，也有可能你这工艺参数没问题，但是操作过程中某一部分出现了偏差，例如，保护气通入的时候进入了一部分空气，导致溅射的时候产生辉光，但是靶材上出来的粒子并没有镀到样品上，这些东西都有可能，你可以再做一次，确定你工艺参数没问题后在操作上花功夫，保证万无一失。祝你成功。
赞一下 回复此楼
6楼2014-01-02 10:58:41
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 13 个回答

千年积雪

新虫 (初入文坛)
★
tyhjqxbz: 金币+1, 感谢交流 2013-12-31 08:29:35
挡板是否开启，靶材表面是否清洁，有无预溅射过程，其它的参数设置检查有无设置不合理的没有？

[ 发自小木虫客户端 ]
赞一下 回复此楼
2楼2013-12-30 21:29:34
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

茉莉花开1

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 千年积雪 at 2013-12-30 21:29:34
挡板是否开启，靶材表面是否清洁，有无预溅射过程，其它的参数设置检查有无设置不合理的没有？

挡板打开了，靶材没有问题，也预溅射了。其他的参数跟之前的没有差别，功率是150W。我注意到一个问题，我在溅射完成后取样品时，那个台子是冰的，正常情况下溅射了两个小时应该是有温度的呀。不知道机器方面有没有问题。  谢谢您。
赞一下 回复此楼
3楼2013-12-30 21:43:22
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

千年积雪

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 茉莉花开1 at 2013-12-30 21:43:22
挡板打开了，靶材没有问题，也预溅射了。其他的参数跟之前的没有差别，功率是150W。我注意到一个问题，我在溅射完成后取样品时，那个台子是冰的，正常情况下溅射了两个小时应该是有温度的呀。不知道机器方面有没有 ...

没有真正溅射，所以托盘是冷的。你换成溅射别的非金属材料采用同样溅射条件尝试一下结果是不是一样情况，以判断机台是否出现问题了。

[ 发自小木虫客户端 ]
赞一下 回复此楼

» 本帖已获得的红花（最新10朵）

茉莉花开1
4楼2013-12-30 21:56:18
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 13 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[论文投稿] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +4 cqv1zKnzd7hr 2026-11-09 6/300 2026-11-11 01:21 by Z7qfCsdIiD1T
[论文投稿] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +4 cqv1zKnzd7hr 2026-11-09 6/300 2026-11-11 01:15 by Z7qfCsdIiD1T
[论文投稿] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +3 0TEMgxdT1eIw 2026-11-09 5/250 2026-11-11 01:04 by Z7qfCsdIiD1T
[教师之家] 售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +4 zSbvVX9JFl9J 2026-11-09 6/300 2026-11-11 01:02 by Z7qfCsdIiD1T
[论文投稿] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.54,科目全,可伽急 +3 zSbvVX9JFl9J 2026-11-09 5/250 2026-11-11 00:53 by Z7qfCsdIiD1T
[公派出国] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.54,科目全,可伽急 +4 FChKX8meu1ds 2026-11-09 7/350 2026-11-10 23:01 by Z7qfCsdIiD1T
[考博] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +3 FChKX8meu1ds 2026-11-09 4/200 2026-11-10 22:47 by Z7qfCsdIiD1T
[公派出国] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +4 FChKX8meu1ds 2026-11-09 5/250 2026-11-10 22:37 by Z7qfCsdIiD1T
[论文投稿] 售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +3 FChKX8meu1ds 2026-11-09 4/200 2026-11-10 20:56 by Z7qfCsdIiD1T
[教师之家] 售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +4 cqv1zKnzd7hr 2026-11-09 5/250 2026-11-10 20:45 by Z7qfCsdIiD1T
[考研] 售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +4 cqv1zKnzd7hr 2026-11-09 5/250 2026-11-10 20:18 by Z7qfCsdIiD1T
[教师之家] 延安大学回应“副教授留绝笔信”：确已离世，正核实举报内容 +4 yexuqing 2026-11-04 6/300 2026-11-10 11:13 by susizheng
[考博] 27博士申请 +3 白白白ly 2026-11-09 3/150 2026-11-09 21:39 by szq0819
[文学芳草园] 厉娜 +3 张丹枫1991 2026-11-09 5/250 2026-11-09 16:53 by 张丹枫1991
[考研] 售SCI-T0P文章，我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +5 ttH3f1oA6ace 2026-11-04 15/750 2026-11-09 13:19 by Equinoxhua
[考研] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +6 5sJFDKp2kwuI 2026-11-06 14/700 2026-11-09 11:52 by GwrQVVR6Oenx
[教师之家] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急 +4 5sJFDKp2kwuI 2026-11-06 8/400 2026-11-08 23:01 by l48hFd8Nwae2
[公派出国] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急 +5 ttH3f1oA6ace 2026-11-04 10/500 2026-11-06 16:12 by 5sJFDKp2kwuI
[公派出国] 售SCI一区文章，我:8.O.551.O.5.4,科目全,可伽急 +6 ttH3f1oA6ace 2026-11-04 12/600 2026-11-06 16:10 by 5sJFDKp2kwuI
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +6 kvewwGtKktqB 2026-11-04 16/800 2026-11-06 05:00 by qL1cU46YIdK0
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭