磁控溅射镀碳膜没有镀上去 - 工艺技术 - 工艺设计 - 第2页小木虫论坛-学术科研互动平台

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新虫 (初入文坛)

引用回帖:

2楼: Originally posted by 千年积雪 at 2013-12-30 21:29:34
挡板是否开启，靶材表面是否清洁，有无预溅射过程，其它的参数设置检查有无设置不合理的没有？

我在研究pvd涂层，很多不懂的，可以请教你吗？q275388358,南理工

研究生真辛苦，

11楼2015-01-19 11:32:28

金虫 (知名作家)

引用回帖:

7楼: Originally posted by 心在飘 at 2014-02-16 21:48:04
根据我的经验，溅射两个小时，即使能镀上碳，厚度也在一百纳米以内，这个厚度下，碳膜基本是透明的，看不到，你多镀几个小时，比如十个小时，就会看到了

能测材料两点间阻抗变化来判断上碳是否吗

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]

人造金刚石及其制品And周边设备

12楼2015-01-19 12:09:30

木虫 (初入文坛)

引用回帖:

12楼: Originally posted by 买酒白云边 at 2015-01-19 12:09:30
能测材料两点间阻抗变化来判断上碳是否吗
...

没试过，如果碳层厚的话，应该可以吧，我们是通过XPS测的

13楼2015-01-19 17:57:32

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