| 查看: 1433 | 回复: 5 | ||
xaver2010金虫 (小有名气)
|
[求助]
直流磁控溅射中柱状晶的抑制 已有1人参与
|
| 前两天直流磁控溅射中做出来的Co，在TEM下观察晶粒尺寸达到10几纳米，也挺均匀，但是会出现柱状晶的现象。具体情况是，我看文献中有为了抑制柱状晶生长而在溅射过程中镀一段时间停一段时间，我在试验中试着镀2min中就停一段时间，然后接着镀，可是Tem照片中还是有明显的柱状倾向啊。而在镀了2min的薄膜中就没有观察到柱状晶。。请问柱状晶的生长模式是什么啊。如果想要足够厚的薄膜而且没有明显的柱状晶生长，该如何做呢？？多谢。。。有柱状晶图片一张 |
回复此楼» 本帖附件资源列表
-
欢迎监督和反馈：小木虫仅提供交流平台，不对该内容负责。
本内容由用户自主发布，如果其内容涉及到知识产权问题，其责任在于用户本人，如对版权有异议，请联系邮箱：xiaomuchong@tal.com - 附件 1 : 9.13.2-2.TIF
2013-11-12 16:34:58, 10.8 M
» 猜你喜欢
稀土发光分析｜核壳结构｜寿命拟合
已经有13人回复
-
稀土发光分析｜核壳结构｜寿命拟合
已经有6人回复
-
金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有195人回复
-
稀土发光分析｜核壳结构｜寿命拟合
已经有0人回复
-
稀土发光分析｜核壳结构｜寿命拟合
已经有0人回复
-
26 届青岛大学纺织化学与染整工程硕士（液体纳米分散染料方向）求申博建议
已经有4人回复
-
26 届青岛大学纺织化学与染整工程（液体纳米分散染料）求浙理工纺织 / 材料博导名额
已经有1人回复
-
敢问Acta Pharmaceutica Sinica B with Editor 三周了，能是什么情况？
已经有0人回复
-
求助 CeO2 Fe3O4 Cu2S CoFe2O4 标准卡 Jade 导出的数据
已经有0人回复
-
求助一篇MEMS散热器件文献
已经有0人回复
» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 直流磁控溅射电压变大
已经有6人回复
- 磁控溅射用的单晶硅片能重复使用吗
已经有5人回复
- 磁控溅射的功率密度
已经有7人回复
- 对靶直流磁控溅射制备ZAO膜打火严重
已经有6人回复
- 直流磁控溅射AZO薄膜为什么方阻总是很大？
已经有10人回复
- 磁控溅射镀不上去膜！！
已经有14人回复
- 磁控溅射中的双靶共溅射，如何通过调整两个靶材的溅射功率控制掺杂量？
已经有20人回复
- 关于磁控溅射直流镀锌
已经有25人回复
- 磁控溅射双靶与单靶在制备中的应用
已经有16人回复
- 磁控溅射腔室内的铝靶变质了 急！急！急！
已经有6人回复
- 氧化铝----陶瓷和单晶---磁控溅射
已经有14人回复
- 太阳能用的单晶硅片可以用来做磁控溅射的基底吗？
已经有7人回复
- 直流磁控溅射的仪器大概要多少钱呀
已经有4人回复
- 直流磁控溅射与射频磁控溅射镀银
已经有15人回复
- 直流磁控溅射 溅射无法起弧 靶材刻蚀严重
已经有13人回复
- 求助关于磁控溅射的问题
已经有29人回复
- 直流磁控溅射镀膜总是被氧化
已经有42人回复
- 是否可以在基底上用磁控溅射Cu、Zn、Al然后加热得到晶化的合金结构？
已经有6人回复
- 做磁控溅射的朋友请进
已经有10人回复
- 【请教】请教，关于Ar磁控溅射的溅射效率问题
已经有4人回复
- 【求助】关于磁控溅射SiO2的问题
已经有14人回复
- 【资源】推荐一批磁控溅射靶材相关的论坛or网站
已经有6人回复
匿名
用户注销 (正式写手)
- 应助: 71 (初中生)
- 金币: 1669.8
- 散金: 406
- 红花: 34
- 帖子: 700
- 在线: 137小时
- 虫号: 0
- 注册: 2011-06-02
- 性别: GG
- 专业: 机械工程
xaver20102楼2013-12-05 09:39:07
xaver2010
金虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 1576.5
- 红花: 1
- 帖子: 268
- 在线: 247.1小时
- 虫号: 1990100
- 注册: 2012-09-10
- 专业: 金属非晶态、准晶和纳米晶
3楼2013-12-25 15:09:15
匿名
用户注销 (正式写手)
- 应助: 71 (初中生)
- 金币: 1669.8
- 散金: 406
- 红花: 34
- 帖子: 700
- 在线: 137小时
- 虫号: 0
- 注册: 2011-06-02
- 性别: GG
- 专业: 机械工程
4楼2013-12-26 09:41:33
xaver2010
金虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 1576.5
- 红花: 1
- 帖子: 268
- 在线: 247.1小时
- 虫号: 1990100
- 注册: 2012-09-10
- 专业: 金属非晶态、准晶和纳米晶
5楼2013-12-26 20:01:03
vion_zy
金虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 481.1
- 帖子: 75
- 在线: 23.6小时
- 虫号: 909418
- 注册: 2009-11-22
- 性别: GG
- 专业: 半导体科学与信息器件
6楼2014-02-23 14:51:53
50