24小时热门版块排行榜    

查看: 1578  |  回复: 3

fpei_csu

银虫 (小有名气)

[求助] 阴极弧蒸发和磁控溅射的本质区别是什么啊?

阴极弧蒸发和磁控溅射的本质区别是什么啊?
还有打弧的主要原因都有哪些呢
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

夏南

金虫 (正式写手)

深度强迫症患者

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
fpei_csu: 金币+5 2013-07-16 14:25:07
我的理解是  前者是靠弧光加热使靶材蒸发,沉积在基体表面的原理镀膜的。
后者是在氩离子的轰击下,靶材中的原子或者原子集团被轰击出来,在磁场的作用下沉积在基体表面的。

打弧主要是瞬时电流过大的放电现象,我个人的理解是相当于尖端放电,如果材料表面有些不干净的东西,如氧化皮等,在加电压以后会产生打弧现象,不过打一会就好了,除非短路了,不然不会一直打弧的。

只是个人见解。

» 本帖已获得的红花(最新10朵)

假装文艺青年的科技工作者。
2楼2013-07-16 14:18:02
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

fpei_csu

银虫 (小有名气)

送红花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by 夏南 at 2013-07-16 14:18:02
我的理解是  前者是靠弧光加热使靶材蒸发,沉积在基体表面的原理镀膜的。
后者是在氩离子的轰击下,靶材中的原子或者原子集团被轰击出来,在磁场的作用下沉积在基体表面的。

打弧主要是瞬时电流过大的放电现象, ...

阴极弧蒸发时常会有打弧现象,因为有高电流
那磁控溅射也会有打弧现象吗?磁控溅射没有高电流吧
3楼2013-07-16 14:26:55
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

夏南

金虫 (正式写手)

深度强迫症患者

引用回帖:
2楼: Originally posted by 夏南 at 2013-07-16 14:18:02
我的理解是  前者是靠弧光加热使靶材蒸发,沉积在基体表面的原理镀膜的。
后者是在氩离子的轰击下,靶材中的原子或者原子集团被轰击出来,在磁场的作用下沉积在基体表面的。

打弧主要是瞬时电流过大的放电现象, ...

不知道你指的是靶材还是基体会打弧。
假装文艺青年的科技工作者。
4楼2013-07-16 18:43:47
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 fpei_csu 的主题更新
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] 为什么国自然不能直接公布 +5 bjdxyxy 2026-08-26 5/250 2026-09-01 17:54 by 小伟大博士
[文学芳草园] 梦想 +5 myrtle 2026-08-26 7/350 2026-09-01 15:18 by myrtle
[基金申请] 学科评审组评审是指会评吗? +4 瞬息宇宙 2026-08-31 4/200 2026-09-01 14:58 by jiaoxg
[基金申请] 面上合作单位盖章 +5 ssyjh 2026-08-27 8/400 2026-09-01 12:58 by ssyjh
[基金申请] 为什么资助数各大高校都创新高,自己申请怎么就这么难 +13 Kittylucky 2026-08-27 14/700 2026-09-01 11:06 by feng6531
[基金申请] 麻烦专家们看看评委们的意见(F口面上) +7 gdd2018 2026-08-28 12/600 2026-09-01 08:32 by 尼古拉斯小虫
[基金申请] 怎么看青基中了没有啊 +6 叶九微 2026-08-26 6/300 2026-08-31 23:54 by yudaoqian88
[基金申请] 面上意见出来了 +12 黄鸟于飞Chao 2026-08-29 23/1150 2026-08-31 18:57 by 黄鸟于飞Chao
[基金申请] 29号明天会评吗 +4 笨笨唐 2026-08-28 4/200 2026-08-31 09:30 by huixian257
[基金申请] 为什么到现在没收到通知? +5 tannykie 2026-08-29 5/250 2026-08-30 21:05 by purplejack
[基金申请] 有没有仍没收到信息的 +7 德尚中行 2026-08-27 8/400 2026-08-30 20:52 by purplejack
[考博] 找导师 +6 yuanjiabao 2026-08-29 7/350 2026-08-30 14:40 by 生科新手
[基金申请] 国自然评审意见 +13 wangmingqi 2026-08-28 19/950 2026-08-29 10:22 by Poppy1104
[基金申请] 2026年叶企孙基金 +4 bud_bud 2026-08-27 7/350 2026-08-29 07:23 by foolishmani
[基金申请] 系统查不到 +11 董八千 2026-08-26 11/550 2026-08-28 18:06 by Leogzhya
[基金申请] 基金系统什么内容也没有 30+4 winsaint 2026-08-27 9/450 2026-08-28 11:06 by maolC
[基金申请] 怎么查啊 +6 huang1991js 2026-08-26 6/300 2026-08-28 08:42 by winsaint
[基金申请] 我不理解! +15 Edward_pc 2026-08-26 23/1150 2026-08-26 20:34 by zzuzxg
[基金申请] 出来了 +9 trojank 2026-08-26 9/450 2026-08-26 14:25 by 宝贝虫子
[基金申请] 牛来!米来!面来! +8 beefly 2026-08-26 8/400 2026-08-26 08:37 by xuzhipiao
信息提示
请填处理意见