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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料工程 » 工艺设计与开发 » 求教一个磁控溅射的问题 相同的靶材溅射出的膜质量却不一样！
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cheadache

捐助贵宾 (初入文坛)

[求助] 求教一个磁控溅射的问题 相同的靶材溅射出的膜质量却不一样！ 已有1人参与

一直用磁控溅射在石英玻璃上镀铬-金膜做为导电层，一般功率为200w ，工作电流430MA,电压450v。
在老金靶用完之后，我更换一个了金靶，功率不变，工作电流变为410MA,电压480v，其它参数没任何变化，但是膜层的质量严重下降，镀膜后石英器件的振动品质因数也下降的很明显。
我只更换了金靶，没更改任何参数设置，为何造成这么大的变化啊。
金靶应该是没有问题的，之前用别的磁控溅射设备镀膜没有任何问题。

[ Last edited by cheadache on 2013-6-28 at 19:05 ]
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1楼 2013-06-28 18:47:48
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

★
314977903: 金币+1, 应助指数+1, 感谢参与应助！ 2013-11-20 10:31:49
是否是新装上的金靶表面受到了污染所致？老金靶溅射无问题，说明设备正常，新金靶在别的机台没问题，说明金靶无问题，这样一想，只可能是表面部分受到污染了。楼主查一查金靶的保管上有无问题。
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10楼2013-11-15 17:32:51
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mzhuxust

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
314977903: 金币+1, 感谢参与应助啊~ 2013-06-29 08:11:19
把金靶取下来重新装一次，新靶和旧靶在镀膜时的参数应该有区别。楼主继续摸索新靶符合你要求的参数吧！
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2楼2013-06-29 00:21:52
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cheadache

捐助贵宾 (初入文坛)
谢谢，以前从来没遇到过这种问题

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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独步天下 无欲无求 如林中之象
3楼2013-06-29 08:22:30
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wyd5516

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
314977903: 金币+1, 感谢参与应助啊~ 2013-06-29 16:00:53
首先金靶的性能、成分是不是和以前都一样；
此外，更换新靶后进行溅射，最初得到的几个样品应该不能够说明薄膜的质量，因为靶材还不稳定，是我的推断，仅供参考
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4楼2013-06-29 15:51:35
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