| 查看: 2995 | 回复: 13 | |||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | |||
cheadache捐助贵宾 (初入文坛)
|
[求助]
求教一个磁控溅射的问题 相同的靶材溅射出的膜质量却不一样！ 已有1人参与
|
||
|
一直用磁控溅射在石英玻璃上镀铬-金膜做为导电层，一般功率为200w ，工作电流430MA,电压450v。 在老金靶用完之后，我更换一个了金靶，功率不变，工作电流变为410MA,电压480v，其它参数没任何变化，但是膜层的质量严重下降，镀膜后石英器件的振动品质因数也下降的很明显。 我只更换了金靶，没更改任何参数设置，为何造成这么大的变化啊。 金靶应该是没有问题的，之前用别的磁控溅射设备镀膜没有任何问题。 [ Last edited by cheadache on 2013-6-28 at 19:05 ] |
回复此楼» 收录本帖的淘帖专辑推荐
 真空镀膜类技术资料 |
» 猜你喜欢
硕士招生-能源动力、动力工程及工程热物理、新能源科学与工程、建环、材料等工科背景
已经有2人回复
-
一志愿重庆大学机械学硕080200 313分，求二轮调剂
已经有7人回复
-
电气科学与工程论文润色/翻译怎么收费?
已经有201人回复
-
沈阳高校招收机械、控制类等相关专业研究生（调剂）
已经有0人回复
-
硕士招生-能源动力、动力工程及工程热物理、新能源科学与工程、建环、材料等工科背景
已经有1人回复
-
已确定
已经有2人回复
-
北京航空航天大学宇航学院 张新华副教授课题组招收 2026年申请考核制博士生
已经有2人回复
-
【26年入学】红外半导体/电子信息/嵌入式视觉/诚招博士生 光电教育部重点实验室
已经有0人回复
-
【全奖博士/科研助理/博后招生】新加坡南洋理工大学机械与航空航天学院
已经有9人回复
-
中国机械工程投稿求助
已经有4人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 磁控溅射电源问题
已经有11人回复
- 磁控溅射镀膜 TiN氮化钛
已经有20人回复
- 请教一个磁控溅射制备薄膜的问题，用相同功率的直流和射频溅射金属靶效果有什么不同？
已经有13人回复
- 磁控溅射TiO2降解甲基橙的问题？
已经有3人回复
- 磁控溅射设备真空问题
已经有12人回复
- 请教磁控溅射的气压和功率对薄膜质量的作用，谢谢！
已经有20人回复
- 磁控溅射 镀铝
已经有54人回复
- 磁控溅射做薄膜失败了吗
已经有21人回复
- 求助关于磁控溅射的问题
已经有29人回复
- 请教一下做磁控溅射镀膜的时候，氩气，氧气，氮气电离得时候分别是什么颜色？
已经有22人回复
- 直流磁控溅射镀膜总是被氧化
已经有42人回复
- 【请教】请教，关于Ar磁控溅射的溅射效率问题
已经有4人回复
- 【求助】请教磁控溅射金属膜问题
已经有23人回复
- 【求助】关于磁控溅射SiO2的问题
已经有14人回复
- 【求助】磁控溅射时的基板问题
已经有4人回复
- 【求助】求助：磁控溅射问题
已经有20人回复
- 【求助】磁控溅射仪相关
已经有8人回复
cheadache
捐助贵宾 (初入文坛)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 263.1
- 帖子: 40
- 在线: 7.8小时
- 虫号: 748079
- 注册: 2009-04-14
- 性别: GG
- 专业: 其他无机非金属材料
3楼2013-06-29 08:22:30
mzhuxust
木虫 (小有名气)
- 应助: 67 (初中生)
- 金币: 2630.6
- 红花: 8
- 帖子: 297
- 在线: 150.7小时
- 虫号: 2296404
- 注册: 2013-02-24
- 性别: GG
- 专业: 金属材料表面科学与工程
2楼2013-06-29 00:21:52
4楼2013-06-29 15:51:35
5楼2013-06-29 15:52:47
25