| 查看: 2349 | 回复: 13 | |||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | |||
cheadache捐助贵宾 (初入文坛)
|
[求助]
求教一个磁控溅射的问题 相同的靶材溅射出的膜质量却不一样！ 已有1人参与
|
||
|
一直用磁控溅射在石英玻璃上镀铬-金膜做为导电层，一般功率为200w ，工作电流430MA,电压450v。 在老金靶用完之后，我更换一个了金靶，功率不变，工作电流变为410MA,电压480v，其它参数没任何变化，但是膜层的质量严重下降，镀膜后石英器件的振动品质因数也下降的很明显。 我只更换了金靶，没更改任何参数设置，为何造成这么大的变化啊。 金靶应该是没有问题的，之前用别的磁控溅射设备镀膜没有任何问题。 [ Last edited by cheadache on 2013-6-28 at 19:05 ] |
回复此楼» 收录本帖的淘帖专辑推荐
 真空镀膜类技术资料 |
» 猜你喜欢
国防科技大学姚富强院士团队招收硕、博研究生/博士后
已经有1人回复
-
.
已经有7人回复
-
机械工程论文润色/翻译怎么收费?
已经有96人回复
-
各位未来的青A大佬，帮忙看看不中评审意见，是啥原因5B吗
已经有7人回复
-
河海大学电力系统自动化硕士求博导
已经有9人回复
-
二苯甲酮合成
已经有1人回复
-
港中深-理工学院-能源与科学工程-研究型博士-专业咨询
已经有0人回复
-
求教邻氯酰氯在氯化锌催化剂作用下与对氯苯胺反应能得到什么产物
已经有1人回复
-
谁让他附加功能艺术
已经有0人回复
-
很难说荣景园收入
已经有0人回复
-
好大太阳今年生日
已经有0人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 磁控溅射电源问题
已经有11人回复
- 磁控溅射镀膜 TiN氮化钛
已经有20人回复
- 请教一个磁控溅射制备薄膜的问题，用相同功率的直流和射频溅射金属靶效果有什么不同？
已经有13人回复
- 磁控溅射TiO2降解甲基橙的问题？
已经有3人回复
- 磁控溅射设备真空问题
已经有12人回复
- 请教磁控溅射的气压和功率对薄膜质量的作用，谢谢！
已经有20人回复
- 磁控溅射 镀铝
已经有54人回复
- 磁控溅射做薄膜失败了吗
已经有21人回复
- 求助关于磁控溅射的问题
已经有29人回复
- 请教一下做磁控溅射镀膜的时候，氩气，氧气，氮气电离得时候分别是什么颜色？
已经有22人回复
- 直流磁控溅射镀膜总是被氧化
已经有42人回复
- 【请教】请教，关于Ar磁控溅射的溅射效率问题
已经有4人回复
- 【求助】请教磁控溅射金属膜问题
已经有23人回复
- 【求助】关于磁控溅射SiO2的问题
已经有14人回复
- 【求助】磁控溅射时的基板问题
已经有4人回复
- 【求助】求助：磁控溅射问题
已经有20人回复
- 【求助】磁控溅射仪相关
已经有8人回复
peterflyer 
木虫之王 (文学泰斗)
peterflyer
- GEPI: 3
- 应助: 20282 (院士)
- 金币: 145907
- 红花: 1374
- 帖子: 93090
- 在线: 7694.1小时
- 虫号: 1482829
- 注册: 2011-11-08
- 性别: GG
- 专业: 功能陶瓷
10楼2013-11-15 17:32:51