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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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foria

银虫 (小有名气)

[求助] 关于薄膜厚度与溅射功率的问题

用射频磁控溅射制备了PbSe薄膜,结果发现薄膜厚度与溅射功率呈非线性增加(如图),不知是何原因,哪位能帮助解释一下?有没有类似的文献?多谢!

360桌面截图20130515163132.jpg
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cstt2007

银虫 (小有名气)

我用直流磁控溅射做时也是这样。可能是由于随着薄膜的不断沉积,各晶粒向上竞争生长,微小晶粒的生长被抑制,同时得以生长的晶粒不断长大,因此导致膜厚随晶粒变大而增加。

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5楼2013-05-16 11:13:41
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qwcmos

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
foria: 金币+20, 有帮助, 膜厚用的台阶法测试的,你说得有道理,我准备再测试一下膜厚,谢谢! 2013-05-16 09:06:19
常理来说,随着power的增加,膜厚应该是呈线性增加的(但这也不是绝对的)。从你做的origin图来看,power增加,膜厚在减少。我就怀疑你的膜厚测量有问题。
首先,膜厚测试方法是否正确,不知你的样品膜厚是多少,是怎么测量膜厚的,SEM?还是台阶法的物理接触测量or白光干涉法。
在保证你的膜厚准确的情况下,再来研究他是线性还是非线性的。
2楼2013-05-15 21:12:42
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chenfire

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
不知道你的靶材有多大,但是几十瓦的功率,似乎太小了。
再往高功率方向走,做150W,200W,250W,再看看曲线是否成线性。

» 本帖已获得的红花(最新10朵)

非淡泊无以明志,非宁静无以致远
3楼2013-05-16 00:09:31
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foria

银虫 (小有名气)

送红花一朵
引用回帖:
3楼: Originally posted by chenfire at 2013-05-16 00:09:31
不知道你的靶材有多大,但是几十瓦的功率,似乎太小了。
再往高功率方向走,做150W,200W,250W,再看看曲线是否成线性。

我用的靶材为直径60mm的圆形靶,谢谢!
4楼2013-05-16 09:08:37
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