| 查看: 1127 | 回复: 5 | ||
foria银虫 (小有名气)
|
[求助]
关于薄膜厚度与溅射功率的问题
|
用射频磁控溅射制备了PbSe薄膜，结果发现薄膜厚度与溅射功率呈非线性增加（如图），不知是何原因，哪位能帮助解释一下？有没有类似的文献？多谢！ 360桌面截图20130515163132.jpg |
回复此楼» 猜你喜欢
279软件工程求调剂
已经有0人回复
-
Desmodur® E 22国产替代产品
已经有0人回复
-
冶金与矿业论文润色/翻译怎么收费?
已经有168人回复
-
信越公司的X-12-1214A国产替代
已经有0人回复
-
太原科技大学材料科学与工程学院招收金属材料类博士一名
已经有18人回复
-
太原科技大学材料科学与工程学院招收金属材料类博士一名
已经有0人回复
-
085601一志愿269分可以调剂吗
已经有2人回复
-
332 9本求92调剂
已经有6人回复
-
光刻胶研发
已经有1人回复
-
吸波粉体电磁参数模具加工
已经有0人回复
-
磁性材料及器件期刊投稿评审意见帮忙指导
已经有4人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- DC磁控溅射 是什么种类？磁控溅射法镀膜，膜的厚度 怎么测量
已经有8人回复
- 磁控溅射Fe靶的溅射电压范围
已经有6人回复
- 急问：磁控溅射生长NiO薄膜，测不出XRD？ 多谢！
已经有16人回复
- 直流磁控溅射制备DLC，靶功率源的电压一直飙升，请问大神们是什么原因？
已经有4人回复
- 磁控溅射制备氮化铝薄膜
已经有7人回复
- 请问大家，溅射时的功率密度该怎么选择呢？
已经有12人回复
- 磁控溅射ZnO薄膜电阻太大
已经有19人回复
- 高功率脉冲磁控溅射，求大神指导
已经有33人回复
- 关于磁控溅射镀膜设备的问题
已经有4人回复
- 磁控溅射的功率密度
已经有7人回复
- 请教大家一个关于PEEK薄膜的问题
已经有3人回复
- 请教一个磁控溅射制备薄膜的问题，用相同功率的直流和射频溅射金属靶效果有什么不同？
已经有13人回复
- 射频磁控溅射陶瓷靶材开裂
已经有18人回复
- 关于磁控溅射靶材的颗粒
已经有10人回复
- 关于溅射镀膜的温度
已经有8人回复
- 请教磁控溅射的气压和功率对薄膜质量的作用，谢谢！
已经有20人回复
- 【求助】请教磁控溅射金属膜问题
已经有23人回复
- 【求助】关于磁控溅射SiO2的问题
已经有14人回复
【答案】应助回帖
★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
foria: 金币+20, ★有帮助, 膜厚用的台阶法测试的，你说得有道理，我准备再测试一下膜厚，谢谢！ 2013-05-16 09:06:19
感谢参与，应助指数 +1
foria: 金币+20, ★有帮助, 膜厚用的台阶法测试的，你说得有道理，我准备再测试一下膜厚，谢谢！ 2013-05-16 09:06:19
|
常理来说，随着power的增加，膜厚应该是呈线性增加的（但这也不是绝对的）。从你做的origin图来看，power增加，膜厚在减少。我就怀疑你的膜厚测量有问题。 首先，膜厚测试方法是否正确，不知你的样品膜厚是多少，是怎么测量膜厚的，SEM？还是台阶法的物理接触测量or白光干涉法。 在保证你的膜厚准确的情况下，再来研究他是线性还是非线性的。 |
2楼2013-05-15 21:12:42
chenfire
木虫 (著名写手)
- 应助: 3 (幼儿园)
- 贵宾: 0.03
- 金币: 4045.1
- 散金: 210
- 红花: 163
- 帖子: 1377
- 在线: 97.5小时
- 虫号: 592069
- 注册: 2008-09-03
- 专业: 无机非金属类光电信息与功
foria
3楼2013-05-16 00:09:31
foria
银虫 (小有名气)
- 应助: 1 (幼儿园)
- 金币: 1304.9
- 散金: 28
- 红花: 1
- 帖子: 287
- 在线: 91.3小时
- 虫号: 1088427
- 注册: 2010-09-03
- 性别: GG
- 专业: 无机非金属类光电信息与功
4楼2013-05-16 09:08:37
5楼2013-05-16 11:13:41
foria
银虫 (小有名气)
- 应助: 1 (幼儿园)
- 金币: 1304.9
- 散金: 28
- 红花: 1
- 帖子: 287
- 在线: 91.3小时
- 虫号: 1088427
- 注册: 2010-09-03
- 性别: GG
- 专业: 无机非金属类光电信息与功
6楼2013-05-17 13:59:12
