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conquertju

金虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射时基片是怎么固定的?

磁控溅射时基片是怎么固定的?我是用胶带粘的,但是基片需双面溅射,所以会污染另一面,不知道大神怎么处理的
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xiayudong

金虫 (小有名气)

圆形或者方型夹具,中间空,基片放在上面就行了,做完一面,反过来再做另一面
7楼2013-04-27 16:13:02
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conquertju

金虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by mokangxin at 2013-04-26 10:49:53
用压片压住

压片压住的话,岂不是溅射的时候压着的地方溅射不到?
3楼2013-04-26 12:14:40
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匿名

用户注销 (正式写手)


zhaohaixing: 欢迎来功能材料版块交流~ 2013-04-26 17:29:50
conquertju: 金币+1, 有帮助 2013-04-28 10:26:17
本帖仅楼主可见
4楼2013-04-26 16:50:53
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conquertju

金虫 (小有名气)

引用回帖:
4楼: Originally posted by ljw1202 at 2013-04-26 16:50:53
我们这里如果样品大的话用压片压住,如果比较小的话用双面胶粘在holder上

压片压住的话,溅射时候压着的地方溅射的到么?
5楼2013-04-26 20:30:27
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