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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 半导体 » 磁控溅射时基片是怎么固定的？
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conquertju

金虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射时基片是怎么固定的？

磁控溅射时基片是怎么固定的？我是用胶带粘的，但是基片需双面溅射，所以会污染另一面，不知道大神怎么处理的
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1楼 2013-04-23 12:27:33
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xiayudong

金虫 (小有名气)
圆形或者方型夹具，中间空，基片放在上面就行了，做完一面，反过来再做另一面
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7楼2013-04-27 16:13:02
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普通回帖

mokangxin

木虫 (正式写手)
zhaohaixing: 欢迎来功能材料版块交流~ 2013-04-26 17:29:43
用压片压住
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2楼2013-04-26 10:49:53
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conquertju

金虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by mokangxin at 2013-04-26 10:49:53
用压片压住

压片压住的话，岂不是溅射的时候压着的地方溅射不到？
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3楼2013-04-26 12:14:40
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匿名

用户注销 (正式写手)
★
zhaohaixing: 欢迎来功能材料版块交流~ 2013-04-26 17:29:50
conquertju: 金币+1, ★有帮助 2013-04-28 10:26:17
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4楼2013-04-26 16:50:53
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conquertju

金虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by ljw1202 at 2013-04-26 16:50:53
我们这里如果样品大的话用压片压住，如果比较小的话用双面胶粘在holder上

压片压住的话，溅射时候压着的地方溅射的到么？
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5楼2013-04-26 20:30:27
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钦点木瓜

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★
conquertju: 金币+1, ★有帮助 2013-04-28 10:26:29
你这只能有压片压住了，反面溅射的话你就压在同一地方就可以了，我们这种实验室的小设备，肯定有这种问题的。
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用绳命来搞科研
6楼2013-04-27 08:46:54
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herlife

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

只能压着，挡住部分避免不了啊!反正实验室研究阶段嘛，测试分析时取有效部分去展开就好

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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8楼2013-04-28 00:16:23
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herlife

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★
conquertju: 金币+1, ★有帮助 2013-04-28 10:27:36
只能压着，挡住部分避免不了啊!反正实验室研究阶段嘛，测试分析时取有效部分去展开就好

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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9楼2013-04-28 00:16:31
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conquertju

金虫 (小有名气)
引用回帖:
9楼: Originally posted by herlife at 2013-04-28 00:16:31
只能压着，挡住部分避免不了啊!反正实验室研究阶段嘛，测试分析时取有效部分去展开就好

这个实验要求就是要都能溅射到，但是感谢回帖
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10楼2013-04-28 10:25:46
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