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liipanlin

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[求助] 有谁磁控溅射过NiO薄膜吗

想了解下溅射的条件和薄膜的参数

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1楼 2013-03-12 11:19:04

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wu1008

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你做NiO来干嘛？

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2楼2013-03-18 19:05:05

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liipanlin

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引用回帖:

2楼: Originally posted by wu1008 at 2013-03-18 19:05:05
你做NiO来干嘛？

做器件需要溅射p型NiO

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3楼2013-03-19 15:02:46

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hqh2011

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【答案】应助回帖

★
nofrunolif: 金币+1, 鼓励交流 2013-03-20 18:15:27

如果采用的是镍靶的话最好避开磁控，否则容易在膜后较薄的时候不容易均匀。
可以采用在一定氧气气氛下进行。（有文献报道过）
如果采用的是氧化镍靶材的话，靶材不易制备。
希望有所帮助

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4楼2013-03-19 23:26:40

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liipanlin

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引用回帖:

4楼: Originally posted by hqh2011 at 2013-03-19 23:26:40
如果采用的是镍靶的话最好避开磁控，否则容易在膜后较薄的时候不容易均匀。
可以采用在一定氧气气氛下进行。（有文献报道过）
如果采用的是氧化镍靶材的话，靶材不易制备。
希望有所帮助

NiO靶材不易制备？求大神指导啊

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5楼2013-03-20 17:05:19

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