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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 有谁磁控溅射过NiO薄膜吗
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liipanlin

新虫 (初入文坛)

[求助] 有谁磁控溅射过NiO薄膜吗

想了解下溅射的条件和薄膜的参数
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1楼 2013-03-12 11:19:04
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wu1008

金虫 (著名写手)
你做NiO来干嘛？
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2楼2013-03-18 19:05:05
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liipanlin

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by wu1008 at 2013-03-18 19:05:05
你做NiO来干嘛？

做器件 需要溅射p型NiO
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3楼2013-03-19 15:02:46
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hqh2011

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★
nofrunolif: 金币+1, 鼓励交流 2013-03-20 18:15:27
如果采用的是镍靶的话最好避开磁控，否则容易在膜后较薄的时候不容易均匀。
可以采用在一定氧气气氛下进行。（有文献报道过）
如果采用的是氧化镍靶材的话，靶材不易制备。
希望有所帮助
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4楼2013-03-19 23:26:40
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liipanlin

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by hqh2011 at 2013-03-19 23:26:40
如果采用的是镍靶的话最好避开磁控，否则容易在膜后较薄的时候不容易均匀。
可以采用在一定氧气气氛下进行。（有文献报道过）
如果采用的是氧化镍靶材的话，靶材不易制备。
希望有所帮助

NiO靶材不易制备？求大神指导啊
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5楼2013-03-20 17:05:19
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hqh2011

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★
fbqrdzs: 金币+1, 应助指数+1, 鼓励交流 2013-08-15 08:11:57
引用回帖:
5楼: Originally posted by liipanlin at 2013-03-20 17:05:19
NiO靶材不易制备？求大神指导啊...

是的，这种氧化物都是比较脆，所以一般都没法加工到我们合适的尺寸。
通常是做金属靶材的多。
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6楼2013-03-20 20:01:16
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fuyadong01

禁虫 (小有名气)
★
nofrunolif: 金币+1, 鼓励交流 2013-04-09 12:07:56
本帖内容被屏蔽
7楼2013-03-21 10:26:41
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liipanlin

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
6楼: Originally posted by hqh2011 at 2013-03-20 20:01:16
是的，这种氧化物都是比较脆，所以一般都没法加工到我们合适的尺寸。
通常是做金属靶材的多。...

但是实验室用的就是NiO靶   有很多文献溅射时采用的也是NiO靶的
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8楼2013-03-21 20:35:31
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Leeeeeeeeeee

金虫 (小有名气)
楼主做的怎么样了，我也在做这个东西，用的射频，溅射不上。不知道什么问题。可以用直流么？
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9楼2013-03-30 19:35:04
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liipanlin

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
9楼: Originally posted by Leeeeeeeeeee at 2013-03-30 19:35:04
楼主做的怎么样了，我也在做这个东西，用的射频，溅射不上。不知道什么问题。可以用直流么？

我用的射频 似乎溅射的不好
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10楼2013-04-02 20:17:50
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