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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » Sputter磁控溅射的设置单位问题
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破晓初春

金虫 (正式写手)

[求助] Sputter磁控溅射的设置单位问题

文献中说“The sputtering was carried out in a partially oxygen (30%)-mixed argon atmosphere of 5Pa”，想请问下这个5Pa就是换算成mTorr后设置的腔内总压强么？磁控溅射O2和Ar设置时单位都是sccm，如何和Pa之间换算呢？谢谢
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1楼 2013-01-21 12:03:36
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
蒋青松: 金币+1, 感谢专家顾问，回答很具体 2013-01-21 21:59:00
破晓初春: 金币+3, ★★★很有帮助 2013-01-23 05:56:14
5Pa是腔体真空度。
而SCCM是标准毫升/分钟，是流量单位。
两者是不能换算的。
先抽真空，然后用某个流量充氧气和氩气，到达5Pa，起辉，做suptter。
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2楼2013-01-21 15:34:51
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钦点木瓜

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流，回答比较充实 2013-01-21 21:58:31
破晓初春: 金币+10, ★★★★★最佳答案, 这个流量计是要自己安装么？ 2013-01-23 05:56:04
两者单位的意义不同的，换算不来的。不同的设备在相同的压强下，需要的流量不同。你可以在腔室里面通过流量计调节压强，记住5Pa时的流量。然后要比例通入流量就可以了
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用绳命来搞科研
3楼2013-01-21 16:29:29
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xpengpengx

铜虫 (小有名气)
２楼解释得很清楚了
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欢迎MO-TFT的虫友一起交流
4楼2013-01-22 21:43:59
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钦点木瓜

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
3楼: Originally posted by 钦点木瓜 at 2013-01-21 16:29:29
两者单位的意义不同的，换算不来的。不同的设备在相同的压强下，需要的流量不同。你可以在腔室里面通过流量计调节压强，记住5Pa时的流量。然后要比例通入流量就可以了

做溅射的设备不都是配备流量计的吗，不然没办法通气控制压强啊
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用绳命来搞科研
5楼2013-01-23 08:40:45
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macaibin

禁虫 (著名写手)
★
感谢参与，应助指数 +1
破晓初春: 金币+1 2013-01-30 07:10:01
本帖内容被屏蔽
6楼2013-01-23 08:47:53
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wangyong832

银虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
破晓初春: 金币+1 2013-01-30 07:09:28
楼主是不是想借鉴别人的参数啊，这个我觉得还是你自己探索的好  不同设备很难比较的
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7楼2013-01-23 15:21:35
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bazhuayuyu

木虫 (著名写手)
引用回帖:
7楼: Originally posted by wangyong832 at 2013-01-23 15:21:35
楼主是不是想借鉴别人的参数啊，这个我觉得还是你自己探索的好  不同设备很难比较的

流量没有借鉴意义，压力还是很有帮助的
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8楼2013-01-23 16:37:55
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wmy_candymm

木虫 (著名写手)

我行我素

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
破晓初春: 金币+5 2013-01-30 07:10:14
引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2013-01-21 15:34:51
5Pa是腔体真空度。
而SCCM是标准毫升/分钟，是流量单位。
两者是不能换算的。
先抽真空，然后用某个流量充氧气和氩气，到达5Pa，起辉，做suptter。

腔体体积对流量大小的影响特别大，你要注意，不同的腔体对流量的要求也不一样，还有个问题是“5Pa是腔体真空度”不是指腔体的本底真空，是充完气体后要求达到的真空度，这是基本条件，流量大小做参考，只能从侧面反映你要达到5Pa的时间。
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Amanisonlyassickashissecretes.
9楼2013-01-29 12:58:01
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jyhit

金虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2013-01-21 15:34:51
5Pa是腔体真空度。
而SCCM是标准毫升/分钟，是流量单位。
两者是不能换算的。
先抽真空，然后用某个流量充氧气和氩气，到达5Pa，起辉，做suptter。

你好，我有个问题想问一下。磁控溅射的时候，我把氧气换成氮气，还是用原来的流量计，这样控制的是氮气的真实流量吗，今天老板告诉我，流量计设置的时候跟气体分子量有关系，如果有关系的话，具体应该怎么换算啊。
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10楼2013-09-20 09:42:35
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