| 查看: 2024 | 回复: 9 | |||
[求助]
Sputter磁控溅射的设置单位问题
|
| 文献中说“The sputtering was carried out in a partially oxygen (30%)-mixed argon atmosphere of 5Pa”，想请问下这个5Pa就是换算成mTorr后设置的腔内总压强么？磁控溅射O2和Ar设置时单位都是sccm，如何和Pa之间换算呢？谢谢 |
回复此楼» 猜你喜欢
材料与化工371求调剂
已经有5人回复
-
328分调剂
已经有4人回复
-
295求调剂
已经有7人回复
-
081700，311，求调剂
已经有13人回复
-
283分求调剂
已经有6人回复
-
0854求调剂
已经有3人回复
-
332求调剂
已经有4人回复
-
284求调剂
已经有5人回复
-
304求调剂（085602，过四级，一志愿985）
已经有11人回复
-
0817化学工程与技术求调剂，一志愿中海洋319
已经有10人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 磁控溅射 射频电源 不能起辉（谢谢）
已经有20人回复
- [求助]磁控溅射制备SiN，用的是射频电源，有辉光，但溅射不上
已经有11人回复
- 磁控溅射&离子溅射
已经有11人回复
- 请教懂磁控溅射设备的高人
已经有3人回复
- 射频磁控溅射ZAO陶瓷靶时遇到的一些问题
已经有10人回复
- 磁控溅射 镀铝
已经有54人回复
- 求助关于磁控溅射的问题
已经有29人回复
- 求助：磁控溅射镀金属膜，镀不上去
已经有4人回复
- 磁控溅射与反应磁控溅射
已经有18人回复
- 电子束蒸发镀膜和磁控溅射镀膜所得薄膜有什么区别？
已经有17人回复
- 磁控溅射分子泵升不上转问题
已经有7人回复
- 【请教】请教，关于Ar磁控溅射的溅射效率问题
已经有4人回复
- 【求助】请教磁控溅射金属膜问题
已经有23人回复
- 磁控溅射射频功率源的问题
已经有4人回复
- 【求助】为什么磁控溅射装备以前能起辉而现在不能起辉
已经有12人回复
yswyx 
专家顾问 (著名写手)
-
专家经验: +651 - 应助: 807 (博后)
- 贵宾: 0.204
- 金币: 2618.9
- 散金: 6018
- 红花: 112
- 帖子: 2705
- 在线: 577.8小时
- 虫号: 446878
- 注册: 2007-10-30
- 性别: GG
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
- 管辖: 微米和纳米
2楼2013-01-21 15:34:51
钦点木瓜
金虫 (著名写手)
- 应助: 104 (高中生)
- 金币: 2810.4
- 散金: 1690
- 红花: 22
- 帖子: 1584
- 在线: 125.6小时
- 虫号: 1043205
- 注册: 2010-06-17
- 性别: GG
- 专业: 无机非金属类光电信息与功
3楼2013-01-21 16:29:29
xpengpengx
铜虫 (小有名气)
- 应助: 4 (幼儿园)
- 金币: 628.7
- 散金: 14
- 红花: 1
- 帖子: 128
- 在线: 112.4小时
- 虫号: 2138044
- 注册: 2012-11-20
- 专业: 半导体光电子器件
4楼2013-01-22 21:43:59
钦点木瓜
金虫 (著名写手)
- 应助: 104 (高中生)
- 金币: 2810.4
- 散金: 1690
- 红花: 22
- 帖子: 1584
- 在线: 125.6小时
- 虫号: 1043205
- 注册: 2010-06-17
- 性别: GG
- 专业: 无机非金属类光电信息与功
5楼2013-01-23 08:40:45
★
感谢参与，应助指数 +1
破晓初春: 金币+1 2013-01-30 07:10:01
感谢参与，应助指数 +1
破晓初春: 金币+1 2013-01-30 07:10:01
|
本帖内容被屏蔽 |
6楼2013-01-23 08:47:53
wangyong832
银虫 (著名写手)
- 应助: 29 (小学生)
- 金币: 2007.4
- 散金: 618
- 红花: 8
- 帖子: 1089
- 在线: 773.5小时
- 虫号: 551306
- 注册: 2008-04-26
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
7楼2013-01-23 15:21:35
bazhuayuyu
木虫 (著名写手)
- 应助: 57 (初中生)
- 金币: 2142.7
- 散金: 10
- 红花: 19
- 帖子: 1091
- 在线: 272.6小时
- 虫号: 419337
- 注册: 2007-07-05
- 专业: 无机非金属类光电信息与功
8楼2013-01-23 16:37:55
wmy_candymm
木虫 (著名写手)
我行我素
- 应助: 8 (幼儿园)
- 金币: 3661.7
- 散金: 105
- 红花: 4
- 帖子: 1544
- 在线: 190.2小时
- 虫号: 1361310
- 注册: 2011-08-05
- 性别: MM
- 专业: 制造系统与自动化
9楼2013-01-29 12:58:01
jyhit
金虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 1454.6
- 散金: 66
- 帖子: 61
- 在线: 127小时
- 虫号: 658868
- 注册: 2008-11-20
- 性别: GG
- 专业: 金属材料表面科学与工程
10楼2013-09-20 09:42:35
10