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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » Sputter磁控溅射的设置单位问题
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破晓初春

金虫 (正式写手)

[求助] Sputter磁控溅射的设置单位问题

文献中说“The sputtering was carried out in a partially oxygen (30%)-mixed argon atmosphere of 5Pa”，想请问下这个5Pa就是换算成mTorr后设置的腔内总压强么？磁控溅射O2和Ar设置时单位都是sccm，如何和Pa之间换算呢？谢谢
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1楼 2013-01-21 12:03:36
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钦点木瓜

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流，回答比较充实 2013-01-21 21:58:31
破晓初春: 金币+10, ★★★★★最佳答案, 这个流量计是要自己安装么？ 2013-01-23 05:56:04
两者单位的意义不同的，换算不来的。不同的设备在相同的压强下，需要的流量不同。你可以在腔室里面通过流量计调节压强，记住5Pa时的流量。然后要比例通入流量就可以了
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用绳命来搞科研
3楼2013-01-21 16:29:29
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
蒋青松: 金币+1, 感谢专家顾问，回答很具体 2013-01-21 21:59:00
破晓初春: 金币+3, ★★★很有帮助 2013-01-23 05:56:14
5Pa是腔体真空度。
而SCCM是标准毫升/分钟，是流量单位。
两者是不能换算的。
先抽真空，然后用某个流量充氧气和氩气，到达5Pa，起辉，做suptter。
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2楼2013-01-21 15:34:51
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xpengpengx

铜虫 (小有名气)
２楼解释得很清楚了
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欢迎MO-TFT的虫友一起交流
4楼2013-01-22 21:43:59
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钦点木瓜

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
3楼: Originally posted by 钦点木瓜 at 2013-01-21 16:29:29
两者单位的意义不同的，换算不来的。不同的设备在相同的压强下，需要的流量不同。你可以在腔室里面通过流量计调节压强，记住5Pa时的流量。然后要比例通入流量就可以了

做溅射的设备不都是配备流量计的吗，不然没办法通气控制压强啊
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用绳命来搞科研
5楼2013-01-23 08:40:45
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