| 查看: 1973 | 回复: 9 | |||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | |||
[求助]
Sputter磁控溅射的设置单位问题
|
|||
| 文献中说“The sputtering was carried out in a partially oxygen (30%)-mixed argon atmosphere of 5Pa”，想请问下这个5Pa就是换算成mTorr后设置的腔内总压强么？磁控溅射O2和Ar设置时单位都是sccm，如何和Pa之间换算呢？谢谢 |
回复此楼» 猜你喜欢
求调剂
已经有5人回复
-
材料工程专硕 348分求调剂
已经有5人回复
-
一志愿南大，0703化学，分数336，求调剂
已经有3人回复
-
322求调剂
已经有3人回复
-
0703化学调剂
已经有4人回复
-
化学调剂
已经有4人回复
-
297求调剂
已经有3人回复
-
生物学调剂
已经有3人回复
-
工科0856求调剂
已经有3人回复
-
求调剂
已经有3人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 磁控溅射 射频电源 不能起辉（谢谢）
已经有20人回复
- [求助]磁控溅射制备SiN，用的是射频电源，有辉光，但溅射不上
已经有11人回复
- 磁控溅射&离子溅射
已经有11人回复
- 请教懂磁控溅射设备的高人
已经有3人回复
- 射频磁控溅射ZAO陶瓷靶时遇到的一些问题
已经有10人回复
- 磁控溅射 镀铝
已经有54人回复
- 求助关于磁控溅射的问题
已经有29人回复
- 求助：磁控溅射镀金属膜，镀不上去
已经有4人回复
- 磁控溅射与反应磁控溅射
已经有18人回复
- 电子束蒸发镀膜和磁控溅射镀膜所得薄膜有什么区别？
已经有17人回复
- 磁控溅射分子泵升不上转问题
已经有7人回复
- 【请教】请教，关于Ar磁控溅射的溅射效率问题
已经有4人回复
- 【求助】请教磁控溅射金属膜问题
已经有23人回复
- 磁控溅射射频功率源的问题
已经有4人回复
- 【求助】为什么磁控溅射装备以前能起辉而现在不能起辉
已经有12人回复
钦点木瓜
金虫 (著名写手)
- 应助: 104 (高中生)
- 金币: 2810.4
- 散金: 1690
- 红花: 22
- 帖子: 1584
- 在线: 125.6小时
- 虫号: 1043205
- 注册: 2010-06-17
- 性别: GG
- 专业: 无机非金属类光电信息与功
5楼2013-01-23 08:40:45
yswyx 
专家顾问 (著名写手)
-
专家经验: +651 - 应助: 807 (博后)
- 贵宾: 0.204
- 金币: 2618.1
- 散金: 6018
- 红花: 112
- 帖子: 2705
- 在线: 577.8小时
- 虫号: 446878
- 注册: 2007-10-30
- 性别: GG
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
- 管辖: 微米和纳米
2楼2013-01-21 15:34:51
钦点木瓜
金虫 (著名写手)
- 应助: 104 (高中生)
- 金币: 2810.4
- 散金: 1690
- 红花: 22
- 帖子: 1584
- 在线: 125.6小时
- 虫号: 1043205
- 注册: 2010-06-17
- 性别: GG
- 专业: 无机非金属类光电信息与功
3楼2013-01-21 16:29:29
xpengpengx
铜虫 (小有名气)
- 应助: 4 (幼儿园)
- 金币: 628.7
- 散金: 14
- 红花: 1
- 帖子: 128
- 在线: 112.4小时
- 虫号: 2138044
- 注册: 2012-11-20
- 专业: 半导体光电子器件
4楼2013-01-22 21:43:59
