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Sputter磁控溅射的设置单位问题
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| 文献中说“The sputtering was carried out in a partially oxygen (30%)-mixed argon atmosphere of 5Pa”，想请问下这个5Pa就是换算成mTorr后设置的腔内总压强么？磁控溅射O2和Ar设置时单位都是sccm，如何和Pa之间换算呢？谢谢 |
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6楼2013-01-23 08:47:53
yswyx 
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xpengpengx
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4楼2013-01-22 21:43:59