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破晓初春

金虫 (正式写手)

[求助] Sputter磁控溅射的设置单位问题

文献中说“The sputtering was carried out in a partially oxygen (30%)-mixed argon atmosphere of 5Pa”,想请问下这个5Pa就是换算成mTorr后设置的腔内总压强么?磁控溅射O2和Ar设置时单位都是sccm,如何和Pa之间换算呢?谢谢
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jyhit

金虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2013-01-21 15:34:51
5Pa是腔体真空度。
而SCCM是标准毫升/分钟,是流量单位。
两者是不能换算的。
先抽真空,然后用某个流量充氧气和氩气,到达5Pa,起辉,做suptter。

你好,我有个问题想问一下。磁控溅射的时候,我把氧气换成氮气,还是用原来的流量计,这样控制的是氮气的真实流量吗,今天老板告诉我,流量计设置的时候跟气体分子量有关系,如果有关系的话,具体应该怎么换算啊。
10楼2013-09-20 09:42:35
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
蒋青松: 金币+1, 感谢专家顾问,回答很具体 2013-01-21 21:59:00
破晓初春: 金币+3, ★★★很有帮助 2013-01-23 05:56:14
5Pa是腔体真空度。
而SCCM是标准毫升/分钟,是流量单位。
两者是不能换算的。
先抽真空,然后用某个流量充氧气和氩气,到达5Pa,起辉,做suptter。
2楼2013-01-21 15:34:51
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钦点木瓜

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流,回答比较充实 2013-01-21 21:58:31
破晓初春: 金币+10, ★★★★★最佳答案, 这个流量计是要自己安装么? 2013-01-23 05:56:04
两者单位的意义不同的,换算不来的。不同的设备在相同的压强下,需要的流量不同。你可以在腔室里面通过流量计调节压强,记住5Pa时的流量。然后要比例通入流量就可以了
用绳命来搞科研
3楼2013-01-21 16:29:29
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xpengpengx

铜虫 (小有名气)

2楼解释得很清楚了
欢迎MO-TFT的虫友一起交流
4楼2013-01-22 21:43:59
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