24小时热门版块排行榜    

查看: 1823  |  回复: 9
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

真空涨落

木虫 (小有名气)

[求助] 紫外光刻厚胶,用于掩蔽

工艺需要4微米左右的厚胶就好了,图形是3-4微米间隔。我光刻的成了碗型。使用胶i7010正胶(好像是AZ的)
有什么好方法可以使侧壁陡直?包括前烘,曝光,显影,后烘等等,甚至浸泡二甲苯。。。
谢谢各位大神啦

SEM照片
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

yswyx的关于光刻的各种回复 实验们

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

物含妙理总堪寻
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

fafa2013

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
真空涨落: 金币+25, ★★★很有帮助, 很久没人回帖啦~我都快遗忘了~多谢你啦哈 2013-05-10 15:50:05
我记得有人说增加软烘时间可以改善,但在我做的实验中没有体现,你可以尝试;
对光刻胶最重要的是曝光剂量和显影时间,你可以针对这两点进行试验
9楼2013-05-10 15:46:52
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 10 个回答

真空涨落

木虫 (小有名气)

顶一下,怎么没人回复。。。
物含妙理总堪寻
2楼2012-12-01 21:33:27
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
真空涨落: 金币+10, 谢谢,每次都是您帮我。 2012-12-05 07:32:43
为什么不用hard mask来加一层掩蔽,这样不就可以用比较薄的胶来做工艺了啊。比如你长一层金属或者是SiO,然后再用高分辨率的光刻胶,比如我们的i1000,然后吧SiO窗口打开,然后再做注入。打开窗口你可以用RIE,相对比较陡直。这样的话就不用扣光刻工艺了,高分辨率胶得到的垂直结果肯定比厚胶要好很多啊。
i7010是稻化学的,以前是shipley。
4楼2012-12-04 14:44:19
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

quanten

金虫 (著名写手)

QQ群(NW-FET): 157220400


【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
真空涨落: 金币+5, ★★★很有帮助, 谢谢,我会试试 2012-12-05 07:32:18
考虑延长曝光时间或者延长显影时间
5楼2012-12-04 23:22:10
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 梁成伟老师课题组欢迎你的加入 +8 一鸭鸭哟 2026-03-14 9/450 2026-03-16 17:35 by 沐霖12138
[考研] 一志愿985,本科211,0817化学工程与技术319求调剂 +5 Liwangman 2026-03-15 5/250 2026-03-16 17:10 by 我的船我的海
[考研] 321求调剂 +5 大米饭! 2026-03-15 5/250 2026-03-16 16:33 by houyaoxu
[考研] 285求调剂 +6 ytter 2026-03-12 6/300 2026-03-16 15:05 by njzyff
[考研] 309求调剂 +5 花与叶@ 2026-03-10 5/250 2026-03-16 14:13 by 哦哦123
[考研] 材料工程专硕274一志愿211求调剂 +5 薛云鹏 2026-03-15 5/250 2026-03-15 20:38 by Logic2024
[考研] 22408总分284求调剂 +3 InAspic 2026-03-13 3/150 2026-03-15 11:10 by zhq0425
[考研] 085601材料工程315分求调剂 +3 yang_0104 2026-03-15 3/150 2026-03-15 10:58 by peike
[考研] 268求调剂 +5 一定有学上- 2026-03-14 6/300 2026-03-14 22:20 by 运气yunqi
[考研] 267一志愿南京工业大学0817化工求调剂 +5 SUICHILD 2026-03-12 5/250 2026-03-14 14:53 by jean5056
[考研] 266求调剂 +4 学员97LZgn 2026-03-13 4/200 2026-03-14 08:37 by zhukairuo
[考研] 318求调剂 +3 李新光 2026-03-10 3/150 2026-03-14 00:21 by JourneyLucky
[考研] 279求调剂 +3 抓着星星的女孩 2026-03-10 3/150 2026-03-13 23:47 by userper
[考研] 材料工程,326分,求调剂 +6 KRSLSR 2026-03-10 6/300 2026-03-13 23:47 by JourneyLucky
[考研] 341求调剂 +3 番茄头--- 2026-03-10 3/150 2026-03-13 23:07 by JourneyLucky
[考研] 315求调剂 +9 小羊小羊_ 2026-03-11 10/500 2026-03-13 21:13 by SXNU李老师
[考研] 考研调剂 +4 芬达46 2026-03-12 4/200 2026-03-13 16:04 by ruiyingmiao
[考研] 295求调剂 +3 小匕仔汁 2026-03-12 3/150 2026-03-13 15:17 by vgtyfty
[考研] 308求调剂 +3 是Lupa啊 2026-03-12 3/150 2026-03-13 14:30 by 求调剂zz
[考研] 化工0817调剂 +8 灿若星晨 2026-03-10 8/400 2026-03-10 22:44 by 星空星月
信息提示
请填处理意见