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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 求助：有没有对光刻胶特别熟悉的，想了解一些光刻胶的信息
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cz.87101

木虫 (正式写手)

[求助] 求助：有没有对光刻胶特别熟悉的，想了解一些光刻胶的信息 已有2人参与

光刻胶种类很多，紫外、深紫外、电子束等各种光刻方式不同，用的胶也不一样，想了解：
①每个光刻波段用的什么胶，关键是胶成分（阻聚剂、感光剂、聚合物等具体成分）
    比如紫外用 光刻胶Su-8正胶，具体成分是什么？百度也没查到

不知有没有专家，能否分享点资料，多谢！
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只有能打死的蚊子，没有能打死的小强！而偶就是打不死的小强！
1楼 2014-02-13 10:43:35
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zxf9

新虫 (初入文坛)
光刻胶光刻所用波长越短，其分辨率越高。光刻胶大体分为：
1.紫外光刻胶
1.1紫外负性光刻胶
1.2紫外正性光科教
2. 深紫外光刻胶（加入PAG光产酸剂）
2.1 248nm光刻胶
2.2 193nm光刻胶
2.3 157nm光刻胶
3. 辐射线光刻胶（X射线、电子书、离子束）
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2楼2014-03-04 10:34:16
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cz.87101

木虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by zxf9 at 2014-03-04 10:34:16
光刻胶光刻所用波长越短，其分辨率越高。光刻胶大体分为：
1.紫外光刻胶
1.1紫外负性光刻胶
1.2紫外正性光科教
2. 深紫外光刻胶（加入PAG光产酸剂）
2.1 248nm光刻胶
2.2 193nm光刻胶
2.3 157nm光刻胶
3. 辐 ...

谢谢回复，这个我也知道，关键是成分。。。。。。
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只有能打死的蚊子，没有能打死的小强！而偶就是打不死的小强！
3楼2014-03-04 15:57:50
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林文丢丢

木虫 (正式写手)
我想问一下  你做靶材 靶材开裂你怎么解决的   用什么把碎了的靶材粘结到铜板上的 无极高温胶吗
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4楼2014-03-12 16:30:50
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071228liu

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

前两天刚了解过，印象中成膜树脂是线性甲酚醛树脂
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5楼2014-03-31 12:01:06
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lkyyang

铁杆木虫 (著名写手)
准备自己做光刻胶吗？
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6楼2014-04-13 18:01:21
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
cz.87101: 金币+8, ★★★很有帮助, 已经查阅了一部分专利，还是灰常谢谢！！！ 2014-04-18 21:35:36
不同种类的光刻胶成分完全不同，原理上也略有差别。
通过百度是搜不到有用的资料的。
比较著名的胶的种类在wiki上都有详细的介绍，比如SU-8（注意是负胶），就是环氧树脂基的。DNQ类型的胶，就是酚醛树脂的。wiki上你搜索photoresist之类的词，还会有很多扩展信息，自然科学方面wiki还是非常不错的（文科的词条就是渣了）。
还有几个方法可以查到，根据光刻胶的名字搜索MSDS。
根据光刻胶的名称搜索专利。
最容易的办法，是找专门的讲光刻胶的书籍。记得化学工业出版社出过一本中文的，其他的就要靠老外的书了。
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7楼2014-04-18 17:51:34
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1347806

银虫 (小有名气)
引用回帖:
7楼: Originally posted by yswyx at 2014-04-18 17:51:34
不同种类的光刻胶成分完全不同，原理上也略有差别。
通过百度是搜不到有用的资料的。
比较著名的胶的种类在wiki上都有详细的介绍，比如SU-8（注意是负胶），就是环氧树脂基的。DNQ类型的胶，就是酚醛树脂的。wiki ...

楼主说的化工出版社的那本书名字叫什么?
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8楼2015-05-23 20:35:14
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